[實用新型]用于電鍍設備的晶圓夾具

有效

• 申請號: 201820547150.8
• 申請日: 2018-04-17
• 公開（公告）號: CN208121226U
• 公開（公告）日: 2018-11-20
• 發明（設計）人: 姜力;于勇
• 申請（專利權）人: 姜力;于勇
• 主分類號: C25D17/06
• 分類號: C25D17/06;C25D7/12
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 聶慧荃;鄭特強

1.一種用于電鍍設備的晶圓夾具，其特征在于，所述用于電鍍設備的晶圓夾具包括一載具、至少一連動環、至少一電鍍載體、至少一上蓋及至少一作動桿，該載具于其一側壁處以同圓心方式固定著該電鍍載體及安裝著可被轉動的該連動環，該連動環被限制僅能旋轉一角度，該電鍍載體圓周外壁邊緣具有多個定位塊，該連動環圓周外壁底緣的局部區域具有一齒輪區段，外壁頂緣則具有多個下卡塊，該上蓋為環狀蓋體，環內壁頂緣分布著多個定位凹槽，壁內壁底緣則設有一固定環，該固定環內具有多個上卡塊，該作動桿縱向安裝于該載具內，其局部區段具有一齒條，該齒條會與該齒輪區段相嚙合。

2.如權利要求1所述的用于電鍍設備的晶圓夾具，其特征在于，該連動環安裝于該電鍍載體圓周外圍，且尺寸小于該電鍍載體頂緣尺寸，該電鍍載體被固定不動，該連動環僅能旋轉但無法脫離該電鍍載體。

3.如權利要求1所述的用于電鍍設備的晶圓夾具，其特征在于，該載具由一板體及一支撐部所構成，形成上寬下窄的T字型結構體，該側壁是該板體側面，該側壁處內凹形成一容置座，該電鍍載體及該連動環安裝于該容置槽座，該容置槽座內另具有深度更深的一限位槽，該連動環的該齒輪區段則位于該限位槽內，該限位槽呈弧形，限制著該連動環僅能旋轉一預定角度。

4.如權利要求3所述的用于電鍍設備的晶圓夾具，其特征在于，該板體縱向另具有一容置空間，該容置空間局部并與該容置槽座相連通，該作動桿安裝于該容置空間內，該齒條于該容置空間與該容置槽座相通處與該連動環的該齒輪區相嚙合。

5.如權利要求3所述的電鍍設備的晶圓夾具，其特征在于，該作動桿頂部另設有一導電塊，該支撐部相對應處具有一凹槽，該導電塊設置該凹槽內其中。

6.如權利要求3所述的電鍍設備的晶圓夾具，其特征在于，該作動桿、該連動環及該固定環皆為金屬材質，能作為電力傳輸的介質。

7.如權利要求1所述的電鍍設備的晶圓夾具，其特征在于，該作動桿的嚙合區段另包括一活動管、一彈簧及一調整件，該活動管能作線性的往復移動，該齒條位于該活動管側壁，該彈簧被限制于該活動管與該調整件之間，該調整件經轉動能改變與該活動管之間的距離，進而調整該彈簧的緊度。