[實用新型]內(nèi)襯及反應(yīng)腔室

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820546055.6
• 申請日: 2018-04-17
• 公開（公告）號: CN208136325U
• 公開（公告）日: 2018-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙康寧
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張?zhí)焓?/td>

1.一種內(nèi)襯，其特征在于，所述內(nèi)襯包括環(huán)形本體，在所述環(huán)形本體的外周壁上設(shè)置有凸緣；

所述環(huán)形本體具有冷卻通道，且在所述凸緣中設(shè)置有與所述冷卻通道相連通的出口通道和入口通道。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的內(nèi)襯，其特征在于，所述冷卻通道包括設(shè)置在所述環(huán)形本體的側(cè)壁上的凹道，以及將封閉所述凹道以形成所述冷卻通道的封閉件。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的內(nèi)襯，其特征在于，所述冷卻通道設(shè)置在所述環(huán)形本體中。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一所述的內(nèi)襯，其特征在于，所述冷卻通道為環(huán)形，且沿所述環(huán)形本體的周向環(huán)繞。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的內(nèi)襯，其特征在于，所述冷卻通道為多個，多個所述冷卻通道沿所述環(huán)形本體的軸向間隔設(shè)置；并且，多個的所述冷卻通道通過至少一個連接通道相連通。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的內(nèi)襯，其特征在于，每個所述冷卻通道在周向上是非閉合的，且多個所述冷卻通道的第一端沿所述環(huán)形本體的軸向排列，多個所述冷卻通道的第二端沿所述環(huán)形本體的軸向排列；

所述連接通道為兩個，且均豎直設(shè)置，并且其中一個所述連接通道與多個所述冷卻通道的第一端連接；其中另一個所述連接通道與多個所述冷卻通道的第二端連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一所述的內(nèi)襯，其特征在于，所述冷卻通道為螺旋形，且沿所述環(huán)形本體的周向螺旋環(huán)繞。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的內(nèi)襯，其特征在于，所述出口通道和入口通道各自的遠離所述冷卻通道的一端位于所述凸緣的外周壁上。

9.一種反應(yīng)腔室，包括腔體，及環(huán)繞設(shè)置在所述腔體的側(cè)壁內(nèi)側(cè)的內(nèi)襯，其特征在于，所述內(nèi)襯采用權(quán)利要求1-8中任一所述的內(nèi)襯。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的反應(yīng)腔室，其特征在于，在所述腔體的側(cè)壁內(nèi)側(cè)設(shè)置有環(huán)形凸臺，所述凸緣疊置在所述環(huán)形凸臺上；所述出口通道和入口通道各自的遠離所述冷卻通道的一端位于所述凸緣的外周壁上；并且，在所述腔體的側(cè)壁中，且與所述出口通道和入口通道相對應(yīng)的位置處設(shè)置有開口，用于使冷卻源的輸入接頭和輸出接頭能夠通過所述開口與所述出口通道和入口通道連接。