[實用新型]一種多功能光刻真空吸盤

有效

• 申請號: 201820527890.5
• 申請日: 2018-04-14
• 公開（公告）號: CN208482742U
• 公開（公告）日: 2019-02-12
• 發明（設計）人: 郭城;呂明;王永超;郭英云
• 申請（專利權）人: 山東科芯電子有限公司
• 主分類號: B05C13/02
• 分類號: B05C13/02;B05C11/08
• 代理公司: 青島高曉專利事務所(普通合伙) 37104
• 代理人: 黃曉敏

1.一種多功能光刻真空吸盤，包括吸盤（1），設置于吸盤（1）底部的通氣管（2）和設置于通氣管（2）底部的法蘭盤（3），所述吸盤（1）由表面吸盤（4）和底部吸盤（5）組成，底部吸盤（5）上表面設置一個同心的凹形圓（6），凹形圓（6）的中心設置第一通孔（7），第一通孔（7）與通氣管（2）連通，其特征在于：所述表面吸盤（4）的中心設置有中心定位通孔（8），表面吸盤（4）的上表面設置有多個同心的環形凹槽（9），環形凹槽（9）上均設置有均勻分布的吸附孔（19），環形凹槽（9）的底面下部均設置有環形空心結構（10），環形空心結構（10）的底面與表面吸盤（4）的底面之間沿徑向設置有貫穿表面吸盤（4）的螺紋孔（11），所述螺紋孔（11）內旋接有出氣調節式螺桿（12），螺紋孔（11）上表面設置有多個與出氣調節式螺桿（12）方向一致的第一進氣孔（13），表面吸盤（4）的下表面上設置有多個與出氣調節式螺桿（12）方向一致的第二進氣孔（14）。

2.如權利要求1所述的一種多功能光刻真空吸盤，其特征在于：所述出氣調節式螺桿（12）包括螺紋桿（15）和兩端對稱設置于螺紋桿（15）上的多個第二通孔（16），位于同一端的多個第二通孔（16）之間互成夾角。

3.如權利要求2所述的一種多功能光刻真空吸盤，其特征在于：所述第二通孔（16）的數量為環形凹槽（9）數量的兩倍，所述第二通孔（16）的位置與環形凹槽（9）的位置相對應。

4.如權利要求3所述的一種多功能光刻真空吸盤，其特征在于：所述第一進氣孔（13）和第二進氣孔（14）的位置均與第二通孔（16）的位置一一對應。

5.如權利要求4所述的一種多功能光刻真空吸盤，其特征在于：所述螺紋孔（11）的孔徑大于第一進氣孔（13）和第二進氣孔（14）的孔徑且小于中心定位通孔（8）的孔徑，所述第二通孔（16）的孔徑小于等于第一進氣孔（13）和第二進氣孔（14）的孔徑。

6.如權利要求1所述的一種多功能光刻真空吸盤，其特征在于：所述凹形圓（6）的直徑大于表面吸盤（4）最大的環形凹槽（9）的直徑。

7.如權利要求1所述的一種多功能光刻真空吸盤，其特征在于：所述表面吸盤（4）底面的圓周外圈設置有均勻分布的吸盤柱腳（17），底部吸盤（5）的圓周外圈設置有與吸盤柱腳（17）一一對應的吸盤柱孔（18）。

8.如權利要求1所述的一種多功能光刻真空吸盤，其特征在于：所述表面吸盤（4）和底部吸盤（5）的接觸面上涂覆密封物質。

9.如權利要求1所述的一種多功能光刻真空吸盤，其特征在于：所述法蘭盤（3）與電機輸出軸固連接，電機輸出軸為空心結構，且與所述通氣管連通。

10.如權利要求9所述的一種多功能光刻真空吸盤，其特征在于：所述電機輸出軸通過設置在電機內部的空氣室的另一端部的導氣管與真空泵相連。