[實(shí)用新型]微絲制備裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820498358.5
• 申請(qǐng)日: 2018-04-10
• 公開（公告）號(hào): CN208136337U
• 公開（公告）日: 2018-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉喜川;楊毅;朱曄;余斌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類號(hào): C23F1/08
• 分類號(hào): C23F1/08
• 代理公司: 蘇州廣正知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32234
• 代理人: 張漢欽

1.一種微絲制備裝置，其特征在于：包括：

防抖動(dòng)放絲單元，所述的防抖動(dòng)放絲單元包括底座（1），所述的底座（1）上設(shè)置有放絲基座（2）、收緊立柱（3）、平衡基座（4），所述的放絲基座（2）、平衡基座（4）包括以預(yù)定轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)軸（5）、固定套設(shè)于所述的轉(zhuǎn)軸（5）的軸套（6）、一體形成于所述的軸套（6）上的盤絲部（7）、設(shè)置在所述的轉(zhuǎn)軸（5）端部的感應(yīng)部（8），所述的盤絲部（7）上饒?jiān)O(shè)有鎢絲（16），所述的感應(yīng)部（8）包括具有卡槽的感應(yīng)套（9），所述的感應(yīng)套（9）的卡槽內(nèi)繞設(shè)有阻力線（10），所述的阻力線（10）的底端通過卡扣方式連接有吊墜（11），所述的放絲基座（2）在轉(zhuǎn)動(dòng)放絲時(shí)施加反向力，所述的平衡基座（4）的吊墜（11）在轉(zhuǎn)動(dòng)放絲時(shí)施加同向力，所述的軸套（6）上一體形成有定位孔（12），所述的收緊立柱（3）的頂部具有橫梁（13），所述的橫梁（13）通過彈性絲（14）懸掛有走輪（15），所述的走輪（15）壓在放絲基座（2）、平衡基座（4）之間的鎢絲（16）上，所述的放絲基座（2）、平衡基座（4）的感應(yīng)部（8）檢測(cè)鎢絲（16）的彎折角達(dá)到預(yù)定程度時(shí)降低轉(zhuǎn)軸（5）的轉(zhuǎn)速；

蝕刻單元，所述的蝕刻單元包括基座（19）、安裝在所述的基座（19）上的反應(yīng)器主體（20）、位于所述的反應(yīng)器主體（20）上方的自動(dòng)噴液部件（21）、以及位于所述的反應(yīng)器主體（20）下方的回收部件（26），所述的基座（19）包括位于橫向兩端的立壁（22）、位于中部的支撐框（23），所述的立壁（22）垂直于所述的基座（19）設(shè)置，所述的反應(yīng)器主體（20）安裝在支撐框（23）上，所述的反應(yīng)器主體（20）具有多個(gè)縱向延伸的導(dǎo)液齒（24），各個(gè)導(dǎo)液齒（24）之間具有在高度方向延伸的導(dǎo)液槽（25），各個(gè)導(dǎo)液齒（24）在與立壁（22）對(duì)應(yīng)高度處設(shè)置開口從而整體形成一個(gè)沿橫向延伸的卡槽（28），所述的平衡基座（4）上的鎢絲（16）繃直后兩端分別固定在立壁（22）上并且整體橫向穿過卡槽（28），所述的回收部件（26）具有多個(gè)分支管（27），各個(gè)分支管（27）分別對(duì)準(zhǔn)每個(gè)所述的導(dǎo)液槽（25）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微絲制備裝置，其特征在于：所述的立壁（22）的頂面介于反應(yīng)器主體（20）的卡槽（28）的底面與頂面之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微絲制備裝置，其特征在于：所述的盤絲部（7）的兩端形成分隔盤（17）。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微絲制備裝置，其特征在于：所述的阻力線（10）的底部形成有凸起（18），所述的吊墜（11）卡扣連接于該凸起（18）。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微絲制備裝置，其特征在于：所述的橫梁（13）的伸出長(zhǎng)度可調(diào)節(jié)地設(shè)置在所述的收緊立柱（3）的頂端。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微絲制備裝置，其特征在于：所述的走輪（15）的重量為0.05N至0.1N。