[實用新型]一種PEVCD臥式石墨舟結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820493615.6
• 申請日: 2018-04-09
• 公開（公告）號: CN208157378U
• 公開（公告）日: 2018-11-27
• 發(fā)明（設計）人: 楊寶立;李時俊;伍波;張勇
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L31/18
• 代理公司: 深圳市康弘知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44247
• 代理人: 尹彥;胡朝陽

1.一種PEVCD臥式石墨舟結(jié)構(gòu)，其特征在于：包括多個固定桿（1）、多個石墨舟片（2），所述的固定桿（1）豎直間隔設置在石英爐管（3）內(nèi)，呈陣列排列；所述的石墨舟片（2）水平設置且層疊間隔固定在所述的固定桿（1）上，所述的固定桿（1）、石墨舟片（2）整體設置在石英爐管（3）的內(nèi)部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的PEVCD臥式石墨舟結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述石墨舟片（2）上設置有多個第一通孔，所述的固定桿（1）穿過第一通孔，每兩層石墨舟片之間還設置有分隔件（4），該分隔件上設置有第二通孔，所述的固定桿（1）穿過所述的分隔件上的第二通孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的PEVCD臥式石墨舟結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的分隔件（4）為圓柱狀或是方塊狀。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的PEVCD臥式石墨舟結(jié)構(gòu)，其特征在于：石英爐管軸心兩側(cè)的固定桿的底部還固定設置有多個底座（5），該底座與石英爐管（3）的內(nèi)壁貼合。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的PEVCD臥式石墨舟結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的底座（5）為類L型結(jié)構(gòu)，包括水平壁（51）和弧形壁（52），該水平壁固定設置在最下面的兩個石墨舟片之間，該弧形壁的弧形外徑與石英爐管（3）的內(nèi)徑配合。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的PEVCD臥式石墨舟結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的水平壁（51）上設置有第三通孔，固定桿（1）穿過第三通孔。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項所述的PEVCD臥式石墨舟結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的固定桿兩端設置有螺紋，石墨舟片通過固定桿上的螺紋和螺母固定。

8.一種包含了上述任意一項權(quán)利要求所述的PEVCD臥式石墨舟結(jié)構(gòu)的臥式硅片鍍減反膜機。