[實用新型]指紋識別傳感器及指紋識別設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820481650.6
• 申請日: 2018-04-04
• 公開（公告）號: CN208045494U
• 公開（公告）日: 2018-11-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 梁志偉;劉英偉;羅雯倩;劉清召;狄沐昕
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01L25/16
• 分類號: H01L25/16;H01L29/786;H01L21/336;G06K9/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 王靜

本公開的實施例提供了一種指紋識別傳感器及指紋識別設(shè)備。該指紋識別傳感器包括襯底和位于襯底上的多個傳感器單元，每個傳感器單元包括薄膜晶體管和光敏器件。所述薄膜晶體管包括源極和漏極、有源層和柵極，所述源極和漏極沿垂直于襯底表面的縱向方向布置，所述有源層的至少一部分沿垂直于襯底表面的縱向方向位于所述源極和漏極之間。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開涉及指紋識別技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種指紋識別傳感器及指紋識別設(shè)備。

背景技術(shù)

隨著物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)的不斷發(fā)展，指紋識別傳感器在日常生活中的應(yīng)用越來越廣泛。指紋識別傳感器按照原理(即指紋成像原理和技術(shù))分為光學(xué)傳感器、半導(dǎo)體電容傳感器、半導(dǎo)體熱敏傳感器、半導(dǎo)體壓感傳感器、超聲波傳感器和射頻RF傳感器等。隨著集成電子技術(shù)的發(fā)展，指紋識別傳感器逐漸朝向薄膜化、微型化、集成化的方向發(fā)展。由于薄膜化的指紋識別傳感器具有與顯示設(shè)備的屏幕集成的優(yōu)勢。

因此，期望能夠提供滿足薄膜化的新型的指紋識別傳感器及指紋識別設(shè)備。

實用新型內(nèi)容

根據(jù)本公開的一個方面，提供了一種指紋識別傳感器，包括：

襯底；

位于襯底上的多個傳感器單元，每個傳感器單元包括薄膜晶體管和光敏器件；

其中，所述薄膜晶體管包括源極和漏極、有源層和柵極，所述源極和漏極沿垂直于襯底表面的縱向方向布置，所述有源層的至少一部分沿垂直于襯底表面的縱向方向位于所述源極和漏極之間。

在一個示例中，所述柵極位于所述源極和漏極的遠離光敏器件的一側(cè)，并且所述薄膜晶體管還包括位于所述柵極和有源層之間的柵極絕緣層。

在一個示例中，在每個傳感器單元內(nèi)，所述薄膜晶體管位于所述襯底表面上的第一側(cè)而所述光敏器件位于所述襯底表面上的與第一側(cè)相對的第二側(cè)，在襯底表面上從第二側(cè)至第一側(cè)依次設(shè)置所述光敏器件、所述源極和漏極、所述有源層以及所述柵極。

在一個示例中，所述源極和漏極之一直接設(shè)置在襯底的所述表面上，并且與所述有源層直接連接，

在所述縱向方向上，所述源極和漏極中的另一個設(shè)置在柵極絕緣層上，并通過柵極絕緣層中的第一過孔與有源層連接。

在一個示例中，所述源極和漏極之間設(shè)置有黑色樹脂層，所述有源層覆蓋所述黑色樹脂層的至少一部分。

在一個示例中，所述光敏器件包括沿所述縱向方向設(shè)置的第一電極、光敏層和第二電極，其中所述第一電極比第二電極更靠近襯底表面，所述源極和漏極之一與所述第一電極一體形成。

在一個示例中，所述薄膜晶體管的柵極絕緣層至少覆蓋所述光敏層的上部并且所述第二電極通過所述柵極絕緣層上的第二過孔與所述光敏層連接。

根據(jù)本公開的另一方面，提供了一種指紋識別設(shè)備，包括上述的指紋識別傳感器。

附圖說明

為了更清楚地說明本公開文本的實施例的技術(shù)方案，下面將對實施例的附圖進行簡要說明，應(yīng)當知道，以下描述的附圖僅僅涉及本公開文本的一些實施例，而非對本公開文本的限制，其中：

圖1示出根據(jù)本公開的實施例的一種指紋識別傳感器的電路原理示意圖；

圖2示出圖1顯示的手指識別傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3示出了圖2中的指紋識別傳感器的制備步驟流程圖；

圖4示出根據(jù)本公開另一實施例的指紋識別傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5示出了圖4中的指紋識別傳感器的制備流程；

圖6示出根據(jù)本公開還一實施例的指紋識別傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖；和