[實用新型]指紋識別傳感器及指紋識別設備

有效

• 申請號: 201820481650.6
• 申請日: 2018-04-04
• 公開（公告）號: CN208045494U
• 公開（公告）日: 2018-11-02
• 發明（設計）人: 梁志偉;劉英偉;羅雯倩;劉清召;狄沐昕
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01L25/16
• 分類號: H01L25/16;H01L29/786;H01L21/336;G06K9/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 王靜

1.一種指紋識別傳感器，其特征在于，所述指紋識別傳感器包括：

襯底；

位于襯底上的多個傳感器單元，每個傳感器單元包括薄膜晶體管和光敏器件；

其中，所述薄膜晶體管包括源極和漏極、有源層和柵極，所述源極和漏極沿垂直于襯底表面的縱向方向布置，所述有源層的至少一部分沿垂直于襯底表面的縱向方向位于所述源極和漏極之間。

2.根據權利要求1所述的指紋識別傳感器，其特征在于，

所述柵極位于所述源極和漏極的遠離光敏器件的一側，并且所述薄膜晶體管還包括位于所述柵極和有源層之間的柵極絕緣層。

3.根據權利要求1所述的指紋識別傳感器，其特征在于，

在每個傳感器單元內，所述薄膜晶體管位于所述襯底表面的第一側而所述光敏器件位于所述襯底表面上與第一側相對的第二側，

在襯底表面上從第二側至第一側依次設置所述光敏器件、所述源極和漏極、所述有源層以及所述柵極。

4.根據權利要求2所述的指紋識別傳感器，其特征在于，所述源極和漏極之一直接設置在襯底的所述表面上，并且與所述有源層直接連接，

在所述縱向方向上，所述源極和漏極中的另一個設置在柵極絕緣層上，并通過柵極絕緣層中的第一過孔與有源層連接。

5.根據權利要求1所述的指紋識別傳感器，其特征在于，

所述源極和漏極之間設置有黑色樹脂層，所述有源層覆蓋所述黑色樹脂層的至少一部分。

6.根據權利要求1-5中任一項所述的指紋識別傳感器，其特征在于，所述光敏器件包括沿所述縱向方向設置的第一電極、光敏層和第二電極，其中所述第一電極比第二電極更靠近襯底表面，所述源極和漏極之一與所述第一電極一體形成。

7.根據權利要求6所述的指紋識別傳感器，其特征在于，所述薄膜晶體管的柵極絕緣層至少覆蓋所述光敏層的上部并且所述第二電極通過所述柵極絕緣層上的第二過孔與所述光敏層連接。

8.一種指紋識別設備，其特征在于，所述指紋識別傳感器包括根據權利要求1-7中任一項所述的指紋識別傳感器。