[實(shí)用新型]硅片檢測(cè)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820479915.9
• 申請(qǐng)日: 2018-03-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208127148U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-11-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳進(jìn)進(jìn);王宏波;喬勇;謝賢清
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 蘇州阿特斯陽(yáng)光電力科技有限公司;阿特斯陽(yáng)光電力集團(tuán)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/66
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/66;H01L31/18
• 代理公司: 蘇州威世朋知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32235
• 代理人: 秦蕾

1.一種硅片檢測(cè)裝置，其特征在于：所述硅片檢測(cè)裝置包括用以傳送硅片的傳送帶、位于所述傳送帶上方的抵壓桿及用以驅(qū)使所述抵壓桿上下移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)源；所述驅(qū)動(dòng)源驅(qū)使所述抵壓桿向下移動(dòng)并抵壓傳送至所述抵壓桿下方的硅片，實(shí)現(xiàn)對(duì)該硅片的檢測(cè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片檢測(cè)裝置，其特征在于：所述抵壓桿的數(shù)量n≥2，所述抵壓桿具有用以與硅片接觸的觸頭，且n個(gè)抵壓桿的觸頭高度相等。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片檢測(cè)裝置，其特征在于：所述觸頭為柔性觸頭。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片檢測(cè)裝置，其特征在于：所述抵壓桿之間的間距可調(diào)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片檢測(cè)裝置，其特征在于：所述硅片檢測(cè)裝置還包括設(shè)置于所述驅(qū)動(dòng)源與抵壓桿之間的傳動(dòng)架，所述傳動(dòng)架開(kāi)設(shè)有用以安裝所述抵壓桿的安裝孔。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅片檢測(cè)裝置，其特征在于：所述抵壓桿穿設(shè)于所述安裝孔且所述抵壓桿的至少部分區(qū)域設(shè)有外螺紋，所述安裝孔設(shè)有與所述外螺紋相適配的內(nèi)螺紋。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅片檢測(cè)裝置，其特征在于：所述硅片檢測(cè)裝置還包括固定設(shè)置于所述安裝孔處并用以調(diào)節(jié)所述抵壓桿的高度的調(diào)節(jié)螺母，所述調(diào)節(jié)螺母具有與所述外螺紋相適配的內(nèi)螺紋。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅片檢測(cè)裝置，其特征在于：所述傳動(dòng)架呈條狀且所述傳動(dòng)架沿所述傳送帶的寬度方向設(shè)置。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片檢測(cè)裝置，其特征在于：在所述傳送帶的寬度方向上，所述抵壓桿的下端與所述傳送帶錯(cuò)位設(shè)置。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片檢測(cè)裝置，其特征在于：所述硅片檢測(cè)裝置還包括用以感測(cè)硅片的傳感器，當(dāng)所述傳感器感測(cè)到硅片傳送至所述抵壓桿下方時(shí)，所述驅(qū)動(dòng)源驅(qū)使所述抵壓桿對(duì)該硅片進(jìn)行檢測(cè)。