[實用新型]硅片檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820479915.9
• 申請日: 2018-03-30
• 公開（公告）號: CN208127148U
• 公開（公告）日: 2018-11-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳進進;王宏波;喬勇;謝賢清
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司;阿特斯陽光電力集團有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L31/18
• 代理公司: 蘇州威世朋知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32235
• 代理人: 秦蕾

本實用新型提供了一種硅片檢測裝置，包括用以傳送硅片的傳送帶、位于所述傳送帶上方的抵壓桿及用以驅(qū)使所述抵壓桿上下移動的驅(qū)動源，所述驅(qū)動源驅(qū)使所述抵壓桿向下移動并抵壓傳送至所述抵壓桿下方的硅片。本實用新型硅片檢測裝置能夠?qū)杵M行有效檢測，剔除不良硅片，降低后續(xù)電池片制程的碎片率；結(jié)構(gòu)簡潔，易于實現(xiàn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及太陽能電池制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種硅片檢測裝置。

背景技術(shù)

晶硅太陽能電池所采用單晶、多晶硅片在切割制備過程中不可避免會產(chǎn)生部分不良品。因此，電池廠商需對硅片進行檢測，避免存有缺陷的硅片流入產(chǎn)線，導(dǎo)致機臺碎片宕機，影響產(chǎn)能，且需耗費人力清理機臺內(nèi)部碎片。特別地，硅片的隱裂指的是硅片表面未穿透且不可見的裂紋，前述隱裂的硅片后續(xù)制程中會產(chǎn)生碎裂，影響正常生產(chǎn)。目前，針對硅片的隱裂，業(yè)內(nèi)大多通過ATM/EL(電致發(fā)光，Electroluminescent)方法對硅片進行抽檢，設(shè)備投入成本較高，難以實現(xiàn)全面檢測，未能抽檢到的隱裂的硅片仍會流入產(chǎn)線。

鑒于此，有必要提供一種新的硅片檢測裝置。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種硅片檢測裝置，能夠有效檢出不良硅片，降低后續(xù)電池片制程的碎片率；結(jié)構(gòu)簡潔，易于實現(xiàn)。

為實現(xiàn)上述實用新型目的，本實用新型提供了一種硅片檢測裝置，包括用以傳送硅片的傳送帶、位于所述傳送帶上方的抵壓桿及用以驅(qū)使所述抵壓桿上下移動的驅(qū)動源，所述驅(qū)動源驅(qū)使所述抵壓桿向下移動并抵壓傳送至所述抵壓桿下方的硅片，實現(xiàn)對該硅片的檢測。

作為本實用新型的進一步改進，所述抵壓桿的數(shù)量n≥2，所述抵壓桿具有用以與硅片接觸的觸頭，且n個抵壓桿的觸頭高度相等。

作為本實用新型的進一步改進，所述觸頭為柔性觸頭。

作為本實用新型的進一步改進，所述抵壓桿之間的間距可調(diào)。

作為本實用新型的進一步改進，所述硅片檢測裝置還包括設(shè)置于所述驅(qū)動源與抵壓桿之間的傳動架，所述傳動架開設(shè)有用以安裝所述抵壓桿的安裝孔。

作為本實用新型的進一步改進，所述抵壓桿穿設(shè)于所述安裝孔且所述抵壓桿的至少部分區(qū)域設(shè)有外螺紋，所述安裝孔設(shè)有與所述外螺紋相適配的內(nèi)螺紋。

作為本實用新型的進一步改進，所述硅片檢測裝置還包括固定設(shè)置于所述安裝孔處并用以調(diào)節(jié)所述抵壓桿的高度的調(diào)節(jié)螺母，所述調(diào)節(jié)螺母具有與所述外螺紋相適配的內(nèi)螺紋。

作為本實用新型的進一步改進，所述傳動架呈條狀且所述傳動架沿所述傳送帶的寬度方向設(shè)置。

作為本實用新型的進一步改進，在所述傳送帶的寬度方向上，所述抵壓桿的下端與所述傳送帶錯位設(shè)置。

作為本實用新型的進一步改進，所述硅片檢測裝置還包括用以感測硅片的傳感器，當所述傳感器感測到硅片傳送至所述抵壓桿下方時，所述驅(qū)動源驅(qū)使所述抵壓桿對該硅片進行檢測。

本實用新型實施例的有益效果包括：采用本實用新型硅片檢測裝置，硅片沿所述傳送帶傳送至所述抵壓桿的下方時，驅(qū)動源驅(qū)使抵壓桿對硅片進行逐一檢測，正常硅片會在抵壓桿抬升后沿傳送帶繼續(xù)傳送，存有結(jié)構(gòu)缺陷的硅片會在抵壓桿的抵壓作用下發(fā)生碎裂并自所述傳送帶掉落，有效避免不良硅片流入后續(xù)制程；且該硅片檢測裝置結(jié)構(gòu)簡潔，易于實現(xiàn)。

附圖說明

圖1是本實用新型硅片檢測裝置的部分結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是圖1中硅片檢測裝置的工作狀態(tài)示意圖；

圖3是本實用新型硅片檢測裝置傳動架的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式