[實(shí)用新型]一種用于芯片檢測(cè)的吸附臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820476368.9
• 申請(qǐng)日: 2018-04-04
• 公開（公告）號(hào): CN207965063U
• 公開（公告）日: 2018-10-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃和平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 福建中科光芯光電科技有限公司
• 主分類號(hào): G01R31/28
• 分類號(hào): G01R31/28;G01K7/02
• 代理公司: 福州元?jiǎng)?chuàng)專利商標(biāo)代理有限公司 35100
• 代理人: 蔡學(xué)俊

本實(shí)用新型涉及一種用于芯片檢測(cè)的吸附臺(tái)，包括用以放置芯片的臺(tái)座，臺(tái)座的臺(tái)面上開設(shè)有用以吸附住芯片的吸氣孔，臺(tái)座的側(cè)部開設(shè)有用以插裝加熱棒的加熱棒插孔以及用以插裝熱電偶的熱電偶插孔，臺(tái)座側(cè)部還設(shè)置有用以擋住芯片防止其掉落的擋板。本實(shí)用新型用于芯片檢測(cè)的吸附臺(tái)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造成本低，使用方便，操作簡(jiǎn)單，并可防止芯片在測(cè)試時(shí)掉落，安全可靠，而且適用于不同高度的芯片，適用范圍廣。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種用于芯片檢測(cè)的吸附臺(tái)。

背景技術(shù)

目前，集成電路制造業(yè)飛速發(fā)展，芯片使用越來(lái)越廣泛，所以對(duì)芯片性能的測(cè)試也越來(lái)越重要，但是芯片的體積較小，對(duì)芯片進(jìn)行高低溫測(cè)試難度較大，目前還沒(méi)有針對(duì)芯片高低溫測(cè)試的工具。

實(shí)用新型內(nèi)容

有鑒于此，本實(shí)用新型的目的是提供一種結(jié)構(gòu)新穎，使用方便的用于芯片檢測(cè)的吸附臺(tái)。

本實(shí)用新型采用以下方案實(shí)現(xiàn)：一種用于芯片檢測(cè)的吸附臺(tái)，包括用以放置芯片的臺(tái)座，臺(tái)座的臺(tái)面上開設(shè)有用以吸附住芯片的吸氣孔，臺(tái)座的側(cè)部開設(shè)有用以插裝加熱棒的加熱棒插孔以及用以插裝熱電偶的熱電偶插孔，臺(tái)座側(cè)部還設(shè)置有用以擋住芯片防止其掉落的擋板。

進(jìn)一步的，所述吸氣孔具有多個(gè)并沿一字排開，所述臺(tái)座內(nèi)部設(shè)置有與所有吸氣孔相連通的分氣長(zhǎng)槽，所述臺(tái)座側(cè)部開設(shè)有與分氣長(zhǎng)槽相連通的抽氣孔。

進(jìn)一步的，所述臺(tái)座側(cè)部設(shè)置有與臺(tái)座緊密配合并可相對(duì)臺(tái)座上下移動(dòng)的壓板，所述擋板設(shè)置于所述壓板上，所述擋板伸出臺(tái)座臺(tái)面的高度低于芯片高度。

進(jìn)一步的，所述吸氣孔和分氣長(zhǎng)槽位于臺(tái)座和壓板的配合面處；所述臺(tái)座與壓板相配合一側(cè)設(shè)置有供壓板移動(dòng)導(dǎo)向的導(dǎo)向槽，所述壓板上設(shè)置有與導(dǎo)向槽配合的凸塊，導(dǎo)向槽上端穿設(shè)有螺栓，所述凸塊上側(cè)開設(shè)有與螺栓配合的螺紋孔。

進(jìn)一步的，所述壓板通過(guò)螺釘固定于臺(tái)座上，所述臺(tái)座朝向壓板一側(cè)開設(shè)有與螺釘配合的螺絲孔，所述壓板上開設(shè)有供螺釘穿過(guò)的長(zhǎng)孔。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果：本實(shí)用新型用于芯片檢測(cè)的吸附臺(tái)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造成本低，使用方便，操作簡(jiǎn)單，并可防止芯片在測(cè)試時(shí)掉落，安全可靠，而且適用于不同高度的芯片，適用范圍廣。

為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下將通過(guò)具體實(shí)施例和相關(guān)附圖，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例一個(gè)方位的立體圖；

圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例俯視圖；

圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例另一個(gè)方位的立體圖；

圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例中臺(tái)座立體圖；

圖5是本實(shí)用新型實(shí)施例中壓板立體圖；

圖中標(biāo)號(hào)說(shuō)明：100-臺(tái)座、110-吸氣孔、120-加熱棒插孔、130-熱電偶插孔、140-分氣長(zhǎng)槽、150-抽氣孔、160-導(dǎo)向槽、170-螺絲孔、180-固定螺紋孔、200-壓板、210-擋板、220-凸塊、221-螺紋孔、230-長(zhǎng)孔。

具體實(shí)施方式