[實用新型]一種用于芯片檢測的吸附臺

有效

• 申請號: 201820476368.9
• 申請日: 2018-04-04
• 公開（公告）號: CN207965063U
• 公開（公告）日: 2018-10-12
• 發明（設計）人: 黃和平
• 申請（專利權）人: 福建中科光芯光電科技有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01K7/02
• 代理公司: 福州元創專利商標代理有限公司 35100
• 代理人: 蔡學俊

1.一種用于芯片檢測的吸附臺，其特征在于：包括用以放置芯片的臺座，臺座的臺面上開設有用以吸附住芯片的吸氣孔，臺座的側部開設有用以插裝加熱棒的加熱棒插孔以及用以插裝熱電偶的熱電偶插孔，臺座側部還設置有用以擋住芯片防止其掉落的擋板。

2.根據權利要求1所述的用于芯片檢測的吸附臺，其特征在于：所述吸氣孔具有多個并沿一字排開，所述臺座內部設置有與所有吸氣孔相連通的分氣長槽，所述臺座側部開設有與分氣長槽相連通的抽氣孔。

3.根據權利要求2所述的用于芯片檢測的吸附臺，其特征在于：所述臺座側部設置有與臺座緊密配合并可相對臺座上下移動的壓板，所述擋板設置于所述壓板上，所述擋板伸出臺座臺面的高度低于芯片高度。

4.根據權利要求3所述的用于芯片檢測的吸附臺，其特征在于：所述吸氣孔和分氣長槽位于臺座和壓板的配合面處；所述臺座與壓板相配合一側設置有供壓板移動導向的導向槽，所述壓板上設置有與導向槽配合的凸塊，導向槽上端穿設有螺栓，所述凸塊上側開設有與螺栓配合的螺紋孔。

5.根據權利要求3所述的用于芯片檢測的吸附臺，其特征在于：所述壓板通過螺釘固定于臺座上，所述臺座朝向壓板一側開設有與螺釘配合的螺絲孔，所述壓板上開設有供螺釘穿過的長孔。