[實(shí)用新型]一種氦質(zhì)譜檢漏儀用組合閥座有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820473569.3 | 申請日： | 2018-04-03 |
| 公開（公告）號： | CN208076106U | 公開（公告）日： | 2018-11-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 朱操勝 | 申請（專利權(quán)）人： | 安徽諾益科技有限公司 |
| 主分類號： | G01M3/20 | 分類號： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 南京申云知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32274 | 代理人： | 邱興天 |
| 地址： | 230041 安徽省合肥市*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 閥座 電磁閥閥座 組合閥座 主閥座 進(jìn)氣口 氦質(zhì)譜檢漏儀 本實(shí)用新型 排氣電磁閥 真空電磁閥 主真空泵 低真空 預(yù)抽 氦質(zhì)譜檢漏 前級真空泵 入口閥座 檢漏口 良品率 排氣口 檢漏 內(nèi)孔 打磨 工作量 連通 裝配 加工 | ||
1.一種氦質(zhì)譜檢漏儀用組合閥座，其特征在于，包括主閥座和入口閥座，所述入口閥座與主閥座相連通，所述主閥座與檢漏儀的主真空泵相連，所述主閥座上設(shè)置有排氣電磁閥閥座、低真空電磁閥閥座、中真空電磁閥閥座，所述排氣電磁閥閥座、低真空電磁閥閥座和中真空電磁閥閥座分別與主真空泵的對應(yīng)接口相連；所述入口閥座上設(shè)置有與氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏口相連通的第一進(jìn)氣口、連通前級真空泵的排氣口和預(yù)抽電磁閥閥座，所述第一進(jìn)氣口位于預(yù)抽電磁閥閥座和主閥座之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氦質(zhì)譜檢漏儀用組合閥座，其特征在于，各個(gè)閥座包括同軸設(shè)置的內(nèi)氣孔和外氣孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氦質(zhì)譜檢漏儀用組合閥座，其特征在于，所述入口閥座或主閥座上設(shè)置有放氣電磁閥閥座和放氣口。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氦質(zhì)譜檢漏儀用組合閥座，其特征在于，所述入口閥座或主閥座上設(shè)置有標(biāo)漏定標(biāo)用電磁閥的連接孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氦質(zhì)譜檢漏儀用組合閥座，其特征在于，所述主閥座和入口閥座之間通過密封件密封連接。
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