[實(shí)用新型]一種氦質(zhì)譜檢漏儀用組合閥座

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820473569.3
• 申請(qǐng)日: 2018-04-03
• 公開（公告）號(hào): CN208076106U
• 公開（公告）日: 2018-11-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱操勝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 安徽諾益科技有限公司
• 主分類號(hào): G01M3/20
• 分類號(hào): G01M3/20
• 代理公司: 南京申云知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32274
• 代理人: 邱興天

本實(shí)用新型公開了一種氦質(zhì)譜檢漏儀用組合閥座，所述主閥座與檢漏儀的主真空泵相連，所述主閥座上設(shè)置有排氣電磁閥閥座、低真空電磁閥閥座、中真空電磁閥閥座，所述排氣電磁閥閥座、低真空電磁閥閥座和中真空電磁閥閥座分別與主真空泵的對(duì)應(yīng)接口相連；所述入口閥座上設(shè)置有與氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏口相連通的第一進(jìn)氣口、連通前級(jí)真空泵的排氣口和預(yù)抽電磁閥閥座，所述第一進(jìn)氣口位于預(yù)抽電磁閥閥座和主閥座之間。本實(shí)用新型的組合閥座中的每個(gè)閥座尺寸都很小，避免了加工過程中需要打過深的孔，大大降低的加工的難度，提高了良品率，從而降低了裝配前的內(nèi)孔打磨的工作量。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種氦質(zhì)譜檢漏儀，尤其涉及的是一種氦質(zhì)譜檢漏儀用組合閥座。

背景技術(shù)

氦質(zhì)譜檢漏儀是真空檢漏應(yīng)用中常用的分析儀器，在電力行業(yè)、航天行業(yè)、核工業(yè)等行業(yè)廣泛運(yùn)用。氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)為其關(guān)鍵部分，是該儀器賴以工作的基礎(chǔ)。

圖1是基于普發(fā)SplitFlow 80分子泵的一種氦質(zhì)譜檢漏儀的真空氣路系統(tǒng)，根據(jù)氣體流向共分四條氣流通路，第一條氣流通路為預(yù)抽真空氣路，為從檢漏口9經(jīng)公共管道到電磁閥13再到前級(jí)真空泵5；第二條氣流通路為低真空氣路，為從檢漏口9經(jīng)公共管道到低真空電磁閥6，到主真空泵2，到排氣電磁閥4，再到前級(jí)真空泵5；第三條氣流通路為中真空氣路，為從檢漏口9經(jīng)公共管道到中真空電磁閥7，到主真空泵2，到排氣電磁閥4，再到前級(jí)真空泵5；第四條氣流通路為高真空氣路，為從質(zhì)譜室1到主真空泵2，到排氣電磁閥4，再到前級(jí)真空泵5，真空計(jì)8用于測(cè)量入口處真空度，真空計(jì)3用于測(cè)量出口處真空度，圖中10是給檢漏儀定標(biāo)用的標(biāo)準(zhǔn)漏孔。

由圖1可知，氦質(zhì)譜檢漏儀的真空氣路系統(tǒng)由多個(gè)零部件組成，各零部件之間聯(lián)通需要通過各樣的管接頭和管件來連接，接頭接縫眾多，安裝復(fù)雜，漏點(diǎn)多，可靠性低，且占用較大的安裝空間，布管和布線均要耗時(shí)耗力，生產(chǎn)效率不高。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題在于：如何減少對(duì)主真空泵的傷害，提供了一種氦質(zhì)譜檢漏儀用組合閥座。

本實(shí)用新型是通過以下技術(shù)方案解決上述技術(shù)問題的，本實(shí)用新型包括主閥座和入口閥座，所述入口閥座與主閥座相連通，所述主閥座與檢漏儀的主真空泵相連，所述主閥座上設(shè)置有排氣電磁閥閥座、低真空電磁閥閥座、中真空電磁閥閥座，所述排氣電磁閥閥座、低真空電磁閥閥座和中真空電磁閥閥座分別與主真空泵的對(duì)應(yīng)接口相連；所述入口閥座上設(shè)置有與氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏口相連通的第一進(jìn)氣口、連通前級(jí)真空泵的排氣口和預(yù)抽電磁閥閥座，所述第一進(jìn)氣口位于預(yù)抽電磁閥閥座和主閥座之間。

各個(gè)閥座包括同軸設(shè)置的內(nèi)氣孔和外氣孔。

所述入口閥座或主閥座上設(shè)置有放氣電磁閥閥座和放氣口。可以根據(jù)需要設(shè)置在不同的主閥座或者入口閥座上。

所述入口閥座或主閥座上設(shè)置有標(biāo)漏定標(biāo)用電磁閥的連接孔。可以根據(jù)需要設(shè)置在不同的主閥座或者入口閥座上。

所述主閥座和入口閥座之間通過密封件密封連接。密封件材料既可以是橡膠的，也可以是金屬等其他可以滿足真空密封要求的材料。

本實(shí)用新型相比現(xiàn)有技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn)：本實(shí)用新型的組合閥座中的每個(gè)閥座尺寸都很小，避免了加工過程中需要打過深的孔，大大降低的加工的難度，提高了良品率，從而降低了裝配前的內(nèi)孔打磨的工作量；預(yù)抽電磁閥和檢漏口的橫置，使預(yù)抽空階段氣流走向和第二、第三氣流通路的走向相反，避免了不能濾去的顆粒物及雜質(zhì)對(duì)主真空泵的損傷。

附圖說明

圖1是現(xiàn)有氦質(zhì)譜檢漏儀真空氣路系統(tǒng)圖；

圖2是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是主閥座的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是圖3的主閥座的后視圖；

圖5是入口閥座的結(jié)構(gòu)示意圖；