[實用新型]一種共晶機

有效

• 申請號: 201820461485.8
• 申請日: 2018-04-03
• 公開（公告）號: CN207966940U
• 公開（公告）日: 2018-10-12
• 發明（設計）人: 鐘銳;徐歡;卡塔琳娜·費舍爾
• 申請（專利權）人: 浙江辛帝亞自動化科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/68;H01L21/60
• 代理公司: 浙江杭州金通專利事務所有限公司 33100
• 代理人: 王麗丹

1.一種共晶機，包括機臺和整機控制系統，其特征在于：所述機臺上設有上下料系統（1）、共晶臺（2）、雙晶圓臺（3）、芯片拾取控制系統（4）和芯片校準系統（5）,所述上下料系統（1）包括管座托盤（6）、吸嘴（7）、氣缸（8）、滑軌（9）、線性精密XY滑臺（10）和控制線性精密XY滑臺（10）的電機，所述吸嘴（7）通過氣缸（8）和滑軌（9）實現上下運動，所述吸嘴（7）上方設有光電感應件（11）和光電開關（12）；所述共晶臺（2）包括將管座從上下料系統輸送至共晶臺的輸送裝置、手指吸嘴（13）、共晶座（14）、管座夾爪（15）、夾爪氣缸（16）和加熱棒（17），所述加熱棒（17）處設有熱敏傳感器（21）；所述雙晶圓臺包括熱沉托盤固定環（27）、芯片托盤固定環（28）、頂針系統組件（29）和線性精密XY模組（30），所述頂針系統組件（29）包括頂針（31）、頂針帽（32）和頂針調節系統，所述頂針帽（32）下設有抽真空管（33）；所述芯片拾取控制系統包括熱沉吸嘴（36）、芯片吸嘴（37）、運動組件（38）和攝像頭（39）；所述芯片校準系統包括芯片校準臺（40）、下攝像頭（41）和芯片校準控制系統，所述芯片校準臺（40）上設有可吸住芯片的小孔，所述小孔與真空吸管（42）連通。

2.如權利要求1所述的共晶機，其特征在于：所述共晶座（14）前側設有壓縮彈簧（18），后側設有氮氣小孔（19）和空氣小孔（20）。

3.如權利要求1所述的共晶機，其特征在于：所述輸送裝置包括氣動滑臺（22）、水平氣缸（23）、轉軸（24）、連桿（25）和調節螺絲（26）。

4.如權利要求1所述的共晶機，其特征在于：所述加熱棒（17）加熱溫度為380～450℃。

5.如權利要求1所述的共晶機，其特征在于：所述頂針調節系統包括導向臺（34）和惰輪（35），實現頂針帽（32）向上或向下。

6.如權利要求1所述的共晶機，其特征在于：所述熱沉吸嘴（36）和芯片吸嘴（37）運動重復精度為：XY 小于正負 4 微米，θ小于 0.1 度。

7.如權利要求1所述的共晶機，其特征在于：所述芯片校準控制系統包括線性XY滑臺（43）及控制線性XY滑臺（43）的伺服電機（44），所述線性XY滑臺（43）上設有支撐臂（45）用于支撐和調節芯片校準臺（40）。