[實(shí)用新型]一種光學(xué)元件體散射缺陷探測(cè)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820441013.6
• 申請(qǐng)日: 2018-03-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208156292U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-11-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王鳳蕊;周曉燕;林宏奐;劉紅婕;鄧青華;石兆華;卓瑾;吳之清;邵婷;蔣曉東;黃進(jìn);葉鑫;李青芝;孫來(lái)喜;夏漢定
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類(lèi)號(hào): G02B21/06
• 分類(lèi)號(hào): G02B21/06;G02B21/36;G01M11/02
• 代理公司: 深圳市智圈知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44351
• 代理人: 劉云青

本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N光學(xué)元件體散射缺陷探測(cè)裝置，光學(xué)元件為長(zhǎng)方體結(jié)構(gòu)，包括多個(gè)光束照射面；光學(xué)元件體散射缺陷探測(cè)裝置包括光源、三維平移臺(tái)、分光單元、照明系統(tǒng)及成像系統(tǒng)，光源用于發(fā)出光束L0；三維平移臺(tái)用于承載和平移光學(xué)元件；分光單元用于將光束L0分為兩束光束；照明系統(tǒng)用于將兩束光束分為多束光束后垂直入射多個(gè)光束照射面，以形成多光束交疊照明區(qū)域；成像系統(tǒng)用于對(duì)多光束交疊照明區(qū)域進(jìn)行成像。本申請(qǐng)?zhí)峁┑墓鈱W(xué)材料體散射缺陷探測(cè)裝置可實(shí)現(xiàn)對(duì)體缺陷多角度照明，從而獲得材料體內(nèi)大部分缺陷的清晰成像，對(duì)于判斷材料質(zhì)量具有重要參考價(jià)值。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及光學(xué)檢測(cè)領(lǐng)域，尤其涉及一種光學(xué)元件體散射缺陷探測(cè)裝置。

背景技術(shù)

許多光學(xué)材料如晶體、熔煉石英等，體內(nèi)或多或少的含有各種結(jié)構(gòu)缺陷，結(jié)構(gòu)缺陷的存在會(huì)對(duì)光學(xué)元件的光傳輸及損傷性能造成很大影響，因此，在元件上架使用之前對(duì)元件體缺陷的檢測(cè)就顯得至關(guān)重要。元件中的結(jié)構(gòu)缺陷會(huì)對(duì)入射光形成散射，利用這一點(diǎn)可以對(duì)其進(jìn)行探測(cè)，根據(jù)散射探測(cè)結(jié)果可以確定元件內(nèi)結(jié)構(gòu)缺陷的尺度、密度及分布情況。散射缺陷表征結(jié)果對(duì)于評(píng)價(jià)材料質(zhì)量，光學(xué)元件選材等都具有重要參考價(jià)值。

結(jié)構(gòu)缺陷的形狀不是規(guī)則的，其邊界一般是由不同大小、取向的表面組成，每個(gè)結(jié)構(gòu)缺陷對(duì)入射光的散射其實(shí)是結(jié)構(gòu)缺陷各個(gè)表面對(duì)入射光反射的和。由于材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)缺陷大小不一、形狀各異，每個(gè)缺陷都可能包括多個(gè)不同取向、不同面積大小的反射面，因此結(jié)構(gòu)缺陷的散射是存在優(yōu)勢(shì)方向的，這就存在從某個(gè)角度照明“看不到”某些缺陷的可能，大量的實(shí)驗(yàn)結(jié)果證明，這種情況是普遍存在的，也就是說(shuō)單一照明方向會(huì)導(dǎo)致很多缺陷漏檢，有必要從多角度照明，以實(shí)現(xiàn)對(duì)體散射缺陷較為全面的探測(cè)。

實(shí)用新型內(nèi)容

鑒于上述情況，本申請(qǐng)?zhí)岢鲆环N光學(xué)元件體散射缺陷探測(cè)裝置，以解決從單一角度照明導(dǎo)致的缺陷漏檢問(wèn)題。

本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N光學(xué)元件體散射缺陷探測(cè)裝置，光學(xué)元件為長(zhǎng)方體結(jié)構(gòu)，包括多個(gè)光束照射面；光學(xué)元件體散射缺陷探測(cè)裝置包括光源、三維平移臺(tái)、分光單元、照明系統(tǒng)及成像系統(tǒng)，光源用于發(fā)出光束L0；三維平移臺(tái)用于承載和平移光學(xué)元件；分光單元用于將光束L0分為兩束光束；照明系統(tǒng)用于將兩束光束分為多束光束后垂直入射多個(gè)光束照射面，以形成多光束交疊照明區(qū)域；成像系統(tǒng)用于對(duì)多光束交疊照明區(qū)域進(jìn)行成像。

在一種實(shí)施方式中，照明系統(tǒng)包括多個(gè)反射鏡，多個(gè)反射鏡對(duì)應(yīng)多個(gè)光束照射面設(shè)置。

在一種實(shí)施方式中，多個(gè)反射鏡包括第一反射鏡、第二反射鏡、第三反射鏡、第四反射鏡，其中，第一反射鏡的中心和第二反射鏡的中心的連線(xiàn)垂直穿過(guò)光學(xué)元件，第三反射鏡的中心和第四反射鏡的中心的連線(xiàn)垂直穿過(guò)光學(xué)元件.

在一種實(shí)施方式中，光學(xué)元件體散射缺陷探測(cè)裝置還包括在光束L0的光路依次設(shè)置的1/2波片及偏振分光棱鏡。

在一種實(shí)施方式中，分光單元包括在光束L0的光路上依次設(shè)置的1/4波片和半反半透鏡。

在一種實(shí)施方式中，光學(xué)元件體散射缺陷探測(cè)裝置還包括在光束L0的光路依次設(shè)置的1/2波片、偏振分光棱鏡、1/4波片及半反半透鏡。

在一種實(shí)施方式中，光源為激光器。

在一種實(shí)施方式中，光束的光斑為方形光斑。

在一種實(shí)施方式中，光學(xué)元件體散射缺陷探測(cè)裝置還包括整形單元，用于將光束整形為具有預(yù)設(shè)強(qiáng)度分布的光束，整形單元位于光源的出光處。

在一種實(shí)施方式中，光學(xué)元件體散射缺陷探測(cè)裝置還包括吸收陷阱，吸收陷阱位于多個(gè)光束的返回光路。

相較于現(xiàn)有技術(shù)，本申請(qǐng)?zhí)峁┑墓鈱W(xué)材料體(內(nèi))散射缺陷探測(cè)裝置可實(shí)現(xiàn)對(duì)體缺陷多角度照明，從而獲得材料體內(nèi)大部分缺陷的清晰成像，對(duì)于判斷材料質(zhì)量具有重要參考價(jià)值。

本申請(qǐng)的這些方面或其他方面在以下實(shí)施例的描述中會(huì)更加簡(jiǎn)明易懂。