[實用新型]一種光學元件體散射缺陷探測裝置有效
| 申請號： | 201820441013.6 | 申請日： | 2018-03-29 |
| 公開（公告）號： | CN208156292U | 公開（公告）日： | 2018-11-27 |
| 發明（設計）人： | 王鳳蕊;周曉燕;林宏奐;劉紅婕;鄧青華;石兆華;卓瑾;吳之清;邵婷;蔣曉東;黃進;葉鑫;李青芝;孫來喜;夏漢定 | 申請（專利權）人： | 中國工程物理研究院激光聚變研究中心 |
| 主分類號： | G02B21/06 | 分類號： | G02B21/06;G02B21/36;G01M11/02 |
| 代理公司： | 深圳市智圈知識產權代理事務所(普通合伙) 44351 | 代理人： | 劉云青 |
| 地址： | 621054 四*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 缺陷探測裝置 散射 光學元件體 三維平移臺 成像系統 分光單元 光束照射 光學元件 照明區域 照明系統 多光束 交疊 光源 長方體結構 多角度照明 垂直入射 光學材料 清晰成像 體缺陷 成像 申請 承載 體內 參考 | ||
1.一種光學元件體散射缺陷探測裝置，其特征在于，所述光學元件為長方體結構，包括多個光束照射面；所述光學元件體散射缺陷探測裝置包括：
三維平移臺，用于承載和平移所述光學元件；
光源，用于發出光束L0；
分光單元，用于將所述光束L0分為兩束光束；
照明系統，用于將所述兩束光束分為多束光束后垂直入射所述多個光束照射面，以形成多光束交疊照明區域；以及
成像系統，用于對所述多光束交疊照明區域進行成像。
2.如權利要求1所述的光學元件體散射缺陷探測裝置，其特征在于，所述照明系統包括多個反射鏡，所述多個反射鏡對應所述多個光束照射面設置。
3.如權利要求2所述的光學元件體散射缺陷探測裝置，其特征在于，所述多個反射鏡包括第一反射鏡、第二反射鏡、第三反射鏡、第四反射鏡，其中，所述第一反射鏡的中心和所述第二反射鏡的中心的連線垂直穿過所述光學元件，所述第三反射鏡的中心和所述第四反射鏡的中心的連線垂直穿過所述光學元件。
4.如權利要求1所述的光學元件體散射缺陷探測裝置，其特征在于，所述光學元件體散射缺陷探測裝置還包括在所述光束L0的光路依次設置的1/2波片及偏振分光棱鏡。
5.如權利要求1所述的光學元件體散射缺陷探測裝置，其特征在于，所述分光單元包括在所述光束L0的光路上依次設置的1/4波片和半反半透鏡。
6.如權利要求1所述的光學元件體散射缺陷探測裝置，其特征在于，所述光學元件體散射缺陷探測裝置還包括在所述光束L0的光路依次設置的1/2波片、偏振分光棱鏡、1/4波片及半反半透鏡。
7.如權利要求1所述的光學元件體散射缺陷探測裝置，其特征在于，所述光源為激光器。
8.如權利要求1所述的光學元件體散射缺陷探測裝置，其特征在于，所述光束的光斑為方形光斑。
9.如權利要求1所述的光學元件體散射缺陷探測裝置，其特征在于，所述光學元件體散射缺陷探測裝置還包括整形單元，用于將所述光束整形為具有預設強度分布的光束，所述整形單元位于所述光源的出光處。
10.如權利要求1所述的光學元件體散射缺陷探測裝置，其特征在于，所述光學元件體散射缺陷探測裝置還包括吸收陷阱，所述吸收陷阱位于所述多個光束的返回光路。
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