[實用新型]溫度調節裝置及晶片真空加熱裝置

有效

• 申請號: 201820439210.4
• 申請日: 2018-03-29
• 公開（公告）號: CN208061039U
• 公開（公告）日: 2018-11-06
• 發明（設計）人: 盧繼奎;張金斌;南建輝
• 申請（專利權）人: 北京創昱科技有限公司
• 主分類號: G05D23/19
• 分類號: G05D23/19;G05D3/12;H05B3/00
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩;吳歡燕

本實用新型涉及晶片加熱技術領域，提供一種溫度調節裝置及晶片真空加熱裝置。其中，溫度調節裝置包括多塊角度可調的反射板，安裝在晶片以及用于加熱所述晶片的加熱單元之間的熱傳遞路徑上，用于調整所述加熱單元向各塊所述晶片輻射的熱量。本實用新型的溫度調節裝置，反射板可以將加熱單元發出的熱量或者光線反射到不同位置。從而，當加熱單元由于裝配誤差或者加工誤差等原因導致真空殼體內晶片溫度不均勻的時候，可以在不改變晶片真空加熱裝置內部布局的情況下，通過調節反射板的角度解決晶片溫度不均勻的問題。

技術領域

本實用新型涉及晶片加熱技術領域，尤其涉及一種溫度調節裝置及晶片真空加熱裝置。

背景技術

在各種不同領域中經常會涉及到晶片加熱。例如，在半導體設備和太陽能電池設備中為了工藝需要，經常要加熱晶片。加熱晶片的方法很多，主要包括電阻絲加熱、高頻感應加熱和紅外燈管加熱。其中，電阻絲加熱又叫輻射加熱，這種加熱方式調整溫度均勻性相對困難，并且升降溫較慢。高頻感應加熱速度快，容易實現自動化控制，但成本較高，工作時由于高頻磁場，容易影響其它設備。紅外燈管加熱可以實現快速升降溫，但是紅外燈管加熱晶片存在以下問題：

在安裝的過程中，會由于裝配誤差導致加熱用的紅外燈管不在同一平面上。而紅外燈管到晶片的距離與晶片加熱時的溫度均勻性有直接關系，如果各紅外燈管到晶片的距離不一致，會造成晶片表面的溫度不一致，從而影響最終的工藝效果。

此外，紅外燈管在安裝過程中，會因為真空腔室上蓋、紅外燈管本身的加工誤差以及裝配精度造成各紅外燈管與晶片的距離不一致，從而影響晶片表面溫度的均勻性。

另外紅外燈管自身長度較長，每段的加熱溫度會有差異，這些差異會直接影響晶片的加熱均勻性，并且每根紅外燈管的自身加熱不一致存在不確定性，只能在調試過程中確定紅外燈管加熱不均勻性的具體數值。紅外燈管在加熱前，真空腔室必須抽真空，如果需要調整燈管與晶片的距離，需要破壞掉真空，打開真空腔室上蓋，調整好后繼續測試溫度均勻性，如不符合要求需重復上述步驟，這樣維護效率會降低。并且，為了保證晶片溫度均勻性，在加熱燈管已經固定的情況下，調整加熱燈管布局，或者重新加工零部件都十分的復雜。

現有技術中，在控制紅外燈管加熱溫度均勻性時，控制方式上主要是控制各個紅外燈管的輸出功率，從而實現溫度的均勻性控制。但是現有技術中存在的問題是，由同一紅外燈管不同位置溫度不均勻和裝配誤差等造成的溫度不均勻，很難通過調整各個燈管功率來實現。

實用新型內容

本實用新型旨在至少解決現有技術或相關技術中存在的技術問題之一。

本實用新型的其中一個目的是：提供一種溫度調節裝置及晶片真空加熱裝置，解決現有技術中存在的晶片加熱時晶片溫度不均勻的問題。

為了實現該目的，本實用新型提供了一種溫度調節裝置，包括多塊角度可調的反射板，安裝在晶片以及用于加熱所述晶片的加熱單元之間的熱傳遞路徑上，用于調整所述加熱單元向各塊所述晶片輻射的熱量。

優選的，所述溫度調節裝置還包括角度調節器；所述反射板可繞著設定軸線轉動，并且沿著所述設定軸線上所述反射板的數量為多塊，包括至少一塊連接所述角度調節器的第一反射板。

優選的，所述反射板還包括第二反射板；所述第一反射板和第二反射板上分別設置有互相配合的凸起，使得所述第一反射板以所述設定軸線為轉軸相對所述第二反射板轉動設定角度之后，所述第一反射板上的凸起和第二反射板上的凸起接觸，并使得所述第一反射板轉動的同時帶動所述第二反射板轉動。

優選的，所述角度調節器為調節手輪，所述調節手輪設置有標度尺，用于顯示所述調節手輪的調節角度。

優選的，所述反射板的兩側均具有反射涂層。

本實用新型還提供一種晶片真空加熱裝置，包括真空殼體，所述真空殼體內部設置有晶片和加熱單元，還包括上述溫度調節裝置。