[實用新型]溫度調節裝置及晶片真空加熱裝置

有效

• 申請號: 201820439210.4
• 申請日: 2018-03-29
• 公開（公告）號: CN208061039U
• 公開（公告）日: 2018-11-06
• 發明（設計）人: 盧繼奎;張金斌;南建輝
• 申請（專利權）人: 北京創昱科技有限公司
• 主分類號: G05D23/19
• 分類號: G05D23/19;G05D3/12;H05B3/00
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩;吳歡燕

1.一種溫度調節裝置，其特征在于，包括多塊角度可調的反射板，安裝在晶片以及用于加熱所述晶片的加熱單元之間的熱傳遞路徑上，用于調整所述加熱單元向各塊所述晶片輻射的熱量。

2.根據權利要求1所述的溫度調節裝置，其特征在于，所述溫度調節裝置還包括角度調節器；所述反射板可繞著設定軸線轉動，并且沿著所述設定軸線上所述反射板的數量為多塊，包括至少一塊連接所述角度調節器的第一反射板。

3.根據權利要求2所述的溫度調節裝置，其特征在于，所述反射板還包括第二反射板；所述第一反射板和第二反射板上分別設置有互相配合的凸起，使得所述第一反射板以所述設定軸線為轉軸相對所述第二反射板轉動設定角度之后，所述第一反射板上的凸起和第二反射板上的凸起接觸，并使得所述第一反射板轉動的同時帶動所述第二反射板轉動。

4.根據權利要求2所述的溫度調節裝置，其特征在于，所述角度調節器為調節手輪，所述調節手輪設置有標度尺，用于顯示所述調節手輪的調節角度。

5.根據權利要求1至4中任意一項所述的溫度調節裝置，其特征在于，所述反射板的兩側均具有反射涂層。

6.一種晶片真空加熱裝置，包括真空殼體，所述真空殼體內部設置有晶片和加熱單元，其特征在于，還包括權利要求1至5中任意一項所述的溫度調節裝置。

7.根據權利要求6所述的晶片真空加熱裝置，其特征在于，所述真空殼體包括蓋體和殼本體，所述加熱單元和反射板固定在所述蓋體上，所述晶片固定在所述殼本體上。

8.根據權利要求6所述的晶片真空加熱裝置，其特征在于，所述晶片真空加熱裝置還包括溫度傳感器，用于測量各塊所述晶片的溫度數據并顯示。

9.根據權利要求6所述的晶片真空加熱裝置，其特征在于，所述晶片真空加熱裝置還包括安裝板，所述晶片均勻分布在所述安裝板上。

10.根據權利要求6所述的晶片真空加熱裝置，其特征在于，當所述溫度調節裝置包括角度調節器的時候，至少其中一塊所述反射板通過磁力聯軸器連接所述角度調節器，所述磁力聯軸器包括位于所述真空殼體內的內磁體以及位于所述真空殼體外的外磁體，所述內磁體連接所述反射板，所述外磁體連接所述角度調節器。