[實用新型]蝕刻系統

有效

• 申請號: 201820437378.1
• 申請日: 2018-03-29
• 公開（公告）號: CN208701212U
• 公開（公告）日: 2019-04-05
• 發明（設計）人: 金鐘學;湯澤民;王長興
• 申請（專利權）人: 東莞太星機械有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08;H05K3/06
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 劉健;黃韌敏

1.一種蝕刻系統，其特征在于，包括：

噴射裝置，所述噴射裝置包括：

至少一蝕刻液噴嘴，安裝在相對基板預定距離位置；

儲液槽，存儲用于向所述蝕刻液噴嘴供給的蝕刻液；

連通所述儲液槽和所述蝕刻液噴嘴的蝕刻液供給通道；

供給泵浦，安裝在所述蝕刻液供給通道上抽取供給所述蝕刻液；

微型泡沫發生部，安裝在所述蝕刻液供給通道上并用于產生所述微型泡沫；

吸入及噴嘴構件，安裝在接近基板的位置，所述吸入及噴嘴構件包括：

噴嘴體；

在所述噴嘴體中形成的用于在所述噴嘴體下端噴射空氣的空氣噴射通道；

在所述噴嘴體中形成的用于從所述噴嘴體下端吸入所述蝕刻液的蝕刻液吸入通道，所述蝕刻液吸入通道與所述空氣噴射通道相互隔離；

空氣供給部，所述空氣供給部連接于所述吸入及噴嘴構件的所述空氣噴射通道；

蝕刻液回收部，所述蝕刻液回收部包括：連接所述儲液槽和所述蝕刻液吸入通道的回收通道；以及

設置在所述回收通道上用于提供吸入力的回收泵浦。

2.根據權利要求1所述的蝕刻系統，其特征在于，所述空氣噴射通道包括：

在所述噴嘴體下端中央形成的空氣噴嘴；

為連通所述空氣噴嘴在所述噴嘴體內部形成的氣室；及

連接外部的空氣供給部和所述氣室，為所述氣室提供空氣的空氣流入口；

所述空氣噴嘴設在所述噴嘴體中與所述基板距離最近的位置，并形成在所述噴嘴體的突出的中央部分。

3.根據權利要求2所述的蝕刻系統，其特征在于，所述氣室形成在所述噴嘴體內部中央部分，從所述氣室到所述空氣噴嘴的通道形狀為漸進變窄。

4.根據權利要求2所述的蝕刻系統，其特征在于，所述蝕刻液吸入通道對稱設于以所述空氣噴嘴為基準的兩側，包括：

在所述噴嘴體下端形成的蝕刻液吸嘴；

連通所述蝕刻液吸嘴并在所述噴嘴體內部形成的，與所述氣室隔離的蝕刻液移動通道；

向所述蝕刻液移動通道提供外部吸入力，向外部排出被吸入的所述蝕刻液的吸入力流入口。

5.根據權利要求4所述的蝕刻系統，其特征在于，所述蝕刻液吸嘴和所述基板的第一距離(D1)比所述基板上蝕刻液膜厚度(D2)小，

所述空氣噴嘴與所述基板的第二距離(D3)比所述第一距離(D1)小。