[實用新型]一種硅片腐蝕清洗機定量補液裝置

有效

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• 申請日: 2018-03-29
• 公開（公告）號: CN208189533U
• 公開（公告）日: 2018-12-04
• 發(fā)明（設計）人: 馬勝南
• 申請（專利權）人: 南軒（天津）科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種硅片腐蝕清洗機定量補液裝置，包括儲液瓶(1)，其特征在于：所述儲液瓶(1)左端的上方開設有進液口(2)，所述進液口(2)的上方設置有木橡塞(3)，所述儲液瓶(1)上表面的中心位置處設置有電機(4)，所述電機(4)的下方設置有轉(zhuǎn)動軸(5)，所述轉(zhuǎn)動軸(5)的前后左右四個方位上均設置有攪拌扇葉(6)，所述儲液瓶(1)的右側(cè)壁上設置有控制盒(8)，所述控制盒(8)的內(nèi)部設置有控制器(10)，所述控制器(10)的右端設置有顯示屏(9)，所述顯示屏(9)的下方設置有控制開關(11)，所述儲液瓶(1)的下方開設有出液口(12)，所述出液口(12)的現(xiàn)房設置有第一電磁閥(13)，且出液口(12)通過卡箍與第一電磁閥(13)固定連接，所述第一電磁閥(13)的下方設置有定量瓶(14)，所述定量瓶(14)左端的上方設置有電容液位器(15)，且定量瓶(14)側(cè)壁的前方設置有液位刻度板(23)，所述定量瓶(14)的下方設置有第二電磁閥(16)，所述第一電磁閥(13)、第二電磁閥(16)、電機(4)、電容液位器(15)、控制器(10)和顯示屏(9)均與控制開關(11)電性連接，所述控制開關(11)通過電源插座與外界電源電性連接。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種硅片腐蝕清洗機定量補液裝置，其特征在于：所述攪拌扇葉(6)為弧形結(jié)構，且攪拌扇葉(6)的側(cè)壁上開設有圓孔(7)。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種硅片腐蝕清洗機定量補液裝置，其特征在于：所述儲液瓶(1)底部的后方設置有定量管(24)，所述定量管(24)的下方設置有球閥(25)，所述球閥(25)的下方設置有定量漏斗(26)，所述定量漏斗(26)的下方設置有轉(zhuǎn)動塊(27)，所述轉(zhuǎn)動塊(27)的側(cè)壁上開設有流通槽(29)，且轉(zhuǎn)動塊(27)的右端設置有轉(zhuǎn)動桿(28)，所述定量漏斗(26)的下方與定量瓶(14)連接。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種硅片腐蝕清洗機定量補液裝置，其特征在于：所述儲液瓶(1)的左端設置有孔塊(20)，所述孔塊(20)的內(nèi)部開設有通孔(22)，所述通孔(22)的內(nèi)部設置有鉤塊(21)。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種硅片腐蝕清洗機定量補液裝置，其特征在于：所述定量瓶(14)的左端設置有橡膠凸塊(17)，所述橡膠凸塊(17)的左端設置有槽塊(18)，所述槽塊(18)與橡膠凸塊(17)相對應位置處開設有凹槽(19)，所述橡膠凸塊(17)與凹槽(19)嵌合連接。