[實用新型]一種具有靶材保護功能的鍍膜設備

有效

• 申請號: 201820418270.8
• 申請日: 2018-03-27
• 公開（公告）號: CN208121187U
• 公開（公告）日: 2018-11-20
• 發明（設計）人: 趙之光;賀新平
• 申請（專利權）人: 惠州市寶明精工有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 陳衛;禹小明

本實用新型涉及一種具有靶材保護功能的鍍膜設備，包括鍍膜機及裝載小車，所述鍍膜機內部設有真空腔體，所述真空腔體內設有端頭，所述端頭與真空腔體壁之間設有絕緣塊，端頭上方豎直安裝有靶材，所述靶材可旋轉運動，所述靶材外部配設有用于提高鍍膜均勻性的靶罩，所述靶罩上開設有鍍膜口，靶罩在鍍膜口處安裝有細鐵絲網，所述細鐵絲網在與靶材相背的一側配設有裝載小車，所述裝載小車上設有用于固定基板的卡具。本實用新型提供了一種具有靶材保護功能的鍍膜設備，該設備通過在靶罩的鍍膜口上安裝細鐵絲網，將固定有基板的裝載小車與旋轉靶材相隔開，細鐵絲網的設置不僅有效防止了破裂玻璃掉落時擱在靶材上對其造成損傷，而且對靶材濺射過程也具有一定散射作用，利于改善鍍膜的均勻性，進而提高產品質量。

技術領域

本實用新型涉及鍍膜技術領域，特別涉及一種具有靶材保護功能的鍍膜設備。

背景技術

目前鍍膜基板多以TFT貼盒玻璃為主，通常先在5代及更高世代線生產完成TFT-array玻璃和CF玻璃制程以后，再經過貼合及切割成3.5代線大小，送至減薄廠減薄，減薄后送至觸摸屏廠進行Oncell觸控sensor制程。現有的Oncell觸摸屏采用以TFT液晶顯示玻璃(包括array面板玻璃和CF玻璃)貼盒減薄好后的CF玻璃背面制造觸摸功能，實現液晶顯示和觸摸傳感器的雙重作用，該方法簡單，成本較低，近年來受到人們的普遍關注。但由于鍍膜玻璃基板是經過切割及減薄后的TFT貼盒玻璃，玻璃質地非常脆，容易在鍍膜過程中因受熱而破裂，破裂后的玻璃碎片會從裝載小車掉落進鍍膜真空腔體內部，且部分玻璃碎片會不可避免的擱在豎著的靶材上面。由于靶材在鍍膜過程中會不停息的持續旋轉，致使擱在旋轉靶材上的玻璃會將靶材刮壞。靶材表面一旦刮壞后將無法正常放電起輝，進而無法正常使用，影響鍍膜過程的正常進行。而且由于鍍膜靶材價格昂貴，一支靶材通?？筛哌_20多萬，其厚度卻不過5-9mm，因此針對表面受損的靶材通常不會直接遺棄，而是選擇修復，修復靶材就必須打開鍍膜腔體用打磨機將靶材表面打磨平整，打磨靶材的過程一方面浪費了昂貴的靶材，另一方面也耽誤了生產時間，不利于提高生產效率。

實用新型內容

本實用新型為了解決上述技術問題，提供了一種具有靶材保護功能的鍍膜設備，該設備通過在靶罩的鍍膜口上安裝細鐵絲網，將固定有基板的裝載小車與旋轉靶材相隔開，不僅有效防止了破裂玻璃掉落時擱在靶材上對其造成損傷，而且安裝在鍍膜口上的細鐵絲網會對靶材濺射過程形成一定散射作用，利于改善鍍膜的均勻性，進而提高產品質量。

為實現上述目的，本實用新型提供了一種具有靶材保護功能的鍍膜設備，包括鍍膜機及裝載小車，所述鍍膜機內部設有真空腔體，所述真空腔體內設有端頭，所述端頭與真空腔體壁之間設有絕緣塊，端頭上方豎直安裝有靶材，所述靶材可旋轉運動，所述靶材外部配設有用于提高鍍膜均勻性的靶罩，所述靶罩上開設有鍍膜口，靶罩在鍍膜口處安裝有細鐵絲網，所述細鐵絲網在與靶材相背的一側配設有裝載小車，所述裝載小車上設有用于固定基板的卡具。

進一步的，所述細鐵絲網包括若干等距平行分布的細鐵絲，所述細鐵絲的分布方向與裝載小車的運行方向互相垂直。

進一步的，所述細鐵絲的直徑為0.4-0.6mm。

進一步的，相鄰細鐵絲之間的距離分布在28-32mm。

進一步的，相鄰細鐵絲之間的距離為30mm。

進一步的，所述基板為TFT貼盒玻璃。

本實用新型所起到的有益技術效果如下：

與現有技術相比較，本實用新型提供了一種具有靶材保護功能的鍍膜設備，該設備通過在靶罩的鍍膜口上安裝細鐵絲網，將固定有基板的裝載小車與旋轉靶材相隔開，細鐵絲網的設置不僅有效防止了破裂玻璃掉落時擱在靶材上對其造成損傷，而且對靶材濺射過程也具有一定散射作用，利于改善鍍膜的均勻性，進而提高產品質量。

附圖說明