[實用新型]一種具有靶材保護功能的鍍膜設備

有效

• 申請號: 201820418270.8
• 申請日: 2018-03-27
• 公開（公告）號: CN208121187U
• 公開（公告）日: 2018-11-20
• 發明（設計）人: 趙之光;賀新平
• 申請（專利權）人: 惠州市寶明精工有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 陳衛;禹小明

1.一種具有靶材保護功能的鍍膜設備，其特征在于，包括鍍膜機及裝載小車（7），所述鍍膜機內部設有真空腔體，所述真空腔體內設有端頭（1），所述端頭（1）與真空腔體壁（9）之間設有絕緣塊（4），端頭（1）上方豎直安裝有靶材（2），所述靶材（2）可旋轉運動，所述靶材（2）外部配設有用于提高鍍膜均勻性的靶罩（3），所述靶罩（3）上開設有鍍膜口（8），靶罩（3）在鍍膜口（8）處安裝有細鐵絲網（6），所述細鐵絲網（6）在與靶材（2）相背的一側配設有裝載小車（7），所述裝載小車（7）上設有用于固定基板（5）的卡具。

2.如權利要求1所述一種具有靶材保護功能的鍍膜設備，其特征在于，所述細鐵絲網（6）包括若干等距平行分布的細鐵絲，所述細鐵絲的分布方向與裝載小車（7）的運行方向互相垂直。

3.如權利要求2所述一種具有靶材保護功能的鍍膜設備，其特征在于，所述細鐵絲的直徑為0.4-0.6mm。

4.如權利要求3所述一種具有靶材保護功能的鍍膜設備，其特征在于，相鄰細鐵絲之間的距離分布在28-32mm。

5.如權利要求4所述一種具有靶材保護功能的鍍膜設備，其特征在于，相鄰細鐵絲之間的距離為30mm。

6.如權利要求1所述一種具有靶材保護功能的鍍膜設備，其特征在于，所述基板（5）為TFT貼盒玻璃。