[實用新型]磁電阻傳感器的短路條在掩模板上的取向裝置

有效

• 申請號: 201820417340.8
• 申請日: 2018-03-27
• 公開（公告）號: CN208255386U
• 公開（公告）日: 2018-12-18
• 發明（設計）人: 李大來;蔣樂躍;劉海東
• 申請（專利權）人: 美新半導體（無錫）有限公司
• 主分類號: G01R33/09
• 分類號: G01R33/09
• 代理公司: 蘇州市新蘇專利事務所有限公司 32221
• 代理人: 朱亦倩

本實用新型提供一種基于斜坡的磁電阻傳感器的短路條在掩模板上的取向裝置，其包括磁電阻傳感器和掩模板，磁電阻傳感器包括：設置于基板上的斜坡，斜坡包括底面和傾斜表面，且傾斜表面和底面的夾角為斜坡傾斜角α；磁場傳感單元，其具有磁易軸和與所述磁易軸垂直的磁敏感軸，磁場傳感單元包括形成于所述斜坡的傾斜表面的第二磁電阻條和位于所述第二磁電阻條上并與第二磁電阻條成預定角度的相互平行的若干個第二短路條，第二磁電阻條和第二短路條之間的夾角為γ，掩模板包括位于所述掩模板平面內的第一磁電阻條和與第一磁電阻條成預定角度的相互平行的若干個第一短路條第一磁電阻條和第一短路條之間的夾角設置為β，其中，tan(β)＝tan(γ)cos(α)(1)。

【技術領域】

本實用新型涉及磁電阻傳感器技術領域，特別涉及一種基于斜坡的磁電阻傳感器的短路條在掩模板上的最優取向設計。

【背景技術】

對于磁電阻傳感器，為了探測z軸方向的磁場，通常在斜坡上制備磁電阻傳感器。為了使得斜坡上磁電阻傳感器的靈敏度最大，掩模板上的短路條取向需要特別設計。

因此，有必要提出一種方案來解決上述問題。

【實用新型內容】

本實用新型的目的之一在于提供一種基于斜坡的磁電阻傳感器的短路條在掩模板上的取向裝置，其對于不同的斜坡傾斜角度，都可以得到短路條在掩模板上的最優取向。

為了解決上述問題，根據本實用新型的一個方面，本實用新型提供一種基于斜坡的磁電阻傳感器的短路條在掩模板上的取向裝置，其包括磁電阻傳感器和掩模板，所述磁電阻傳感器包括：設置于基板上的斜坡，所述斜坡包括底面和傾斜表面，且所述傾斜表面和底面的夾角為斜坡傾斜角α；磁場傳感單元，其具有磁易軸和與所述磁易軸垂直的磁敏感軸，所述磁場傳感單元包括形成于所述斜坡的傾斜表面的第二磁電阻條和位于所述第二磁電阻條上并與所述第二磁電阻條成預定角度的相互平行的若干個第二短路條，所述第二磁電阻條和第二短路條之間的夾角為γ，所述掩模板包括位于所述掩模板平面內的第一磁電阻條和與所述第一磁電阻條成預定角度的相互平行的若干個第一短路條，所述第一磁電阻條和第一短路條之間的夾角設置為β，其中，tan(β)＝tan(γ)cos(α)(1)。

進一步的，所述掩模板與所述斜坡的底面平行；位于所述傾斜表面的第二磁電阻條和第二短路條是通過所述掩模板內對應的第一磁電阻條和第一短路條形成的。

進一步的，所述磁場傳感單元為各向異性磁阻傳感單元。

進一步的，所述斜坡為縱長條形，其延伸方向與所述磁易軸方向相同，所述第二磁電阻條為縱長條形，其延伸方向與所述磁易軸方向相同。

進一步的，所述斜坡為梯形橫截面，其具有頂面；或，所述斜坡為三角形橫截面。

與現有技術相比，本實用新型找到了掩模板平面內的磁電阻條和短路條之間的夾角β、斜坡傾斜表面的磁電阻條和短路條之間的夾角γ、斜坡傾斜角度α之間的關系式，從而對于不同的斜坡傾斜角度α，都可以得到短路條在掩模板上的最優取向。

【附圖說明】

為了更清楚地說明本實用新型實施例的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其它的附圖。其中：

圖1為本實用新型在一個實施例中的磁電阻傳感器的短路條在掩模板上的取向裝置的結構示意圖；

圖2為本實用新型在一個實施例中，當斜坡傾斜表面的短路條取向角一定時，掩模板平面內的短路條取向角隨著斜坡傾斜角度的變化關系示意圖。

【具體實施方式】

為使本實用新型的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂，下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明。