[實用新型]磁電阻傳感器的短路條在掩模板上的取向裝置

有效

• 申請號: 201820417340.8
• 申請日: 2018-03-27
• 公開（公告）號: CN208255386U
• 公開（公告）日: 2018-12-18
• 發明（設計）人: 李大來;蔣樂躍;劉海東
• 申請（專利權）人: 美新半導體（無錫）有限公司
• 主分類號: G01R33/09
• 分類號: G01R33/09
• 代理公司: 蘇州市新蘇專利事務所有限公司 32221
• 代理人: 朱亦倩

1.一種磁電阻傳感器的短路條在掩模板上的取向裝置，其包括磁電阻傳感器和掩模板，所述磁電阻傳感器包括：設置于基板上的斜坡，所述斜坡包括底面和傾斜表面，且所述傾斜表面和底面的夾角為斜坡傾斜角α；磁場傳感單元，其具有磁易軸和與所述磁易軸垂直的磁敏感軸，所述磁場傳感單元包括形成于所述斜坡的傾斜表面的第二磁電阻條和位于所述第二磁電阻條上并與所述第二磁電阻條成預定角度的相互平行的若干個第二短路條，所述第二磁電阻條和第二短路條之間的夾角為γ，

所述掩模板包括位于所述掩模板平面內的第一磁電阻條和與所述第一磁電阻條成預定角度的相互平行的若干個第一短路條，其特征在于，

所述第一磁電阻條和第一短路條之間的夾角設置為β，

其中，tan(β)＝tan(γ)cos(α)。

2.根據權利要求1所述的磁電阻傳感器的短路條在掩模板上的取向裝置，其特征在于，

所述掩模板與所述斜坡的底面平行；

位于所述傾斜表面的第二磁電阻條和第二短路條是通過所述掩模板內對應的第一磁電阻條和第一短路條形成的。

3.根據權利要求1所述的磁電阻傳感器的短路條在掩模板上的取向裝置，其特征在于，

所述磁場傳感單元為各向異性磁阻傳感單元。

4.根據權利要求1所述的磁電阻傳感器的短路條在掩模板上的取向裝置，其特征在于，

所述斜坡為縱長條形，其延伸方向與所述磁易軸方向相同，

所述第二磁電阻條為縱長條形，其延伸方向與所述磁易軸方向相同。

5.根據權利要求1所述的磁電阻傳感器的短路條在掩模板上的取向裝置，其特征在于，

所述斜坡為梯形橫截面，其具有頂面；或

所述斜坡為三角形橫截面。