[實(shí)用新型]半導(dǎo)體封裝一體機(jī)的自動(dòng)供料機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820417327.2
• 申請(qǐng)日: 2018-03-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208093519U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-11-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐大林
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市佳思特光電設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 深圳市金筆知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 44297
• 代理人: 胡清方;彭友華

一種半導(dǎo)體封裝一體機(jī)的自動(dòng)供料機(jī)構(gòu)，包括工作平臺(tái)，在工作平臺(tái)上設(shè)置有兩個(gè)晶圓臺(tái)移動(dòng)裝置、兩個(gè)晶圓臺(tái)、上料移動(dòng)裝置和供料機(jī)械手，兩個(gè)晶圓臺(tái)移動(dòng)裝置分別位于上料移動(dòng)裝置的兩側(cè)，兩個(gè)晶圓臺(tái)分別設(shè)置在兩個(gè)晶圓臺(tái)移動(dòng)裝置上，供料機(jī)械手與上料移動(dòng)裝置連接；上料移動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)供料機(jī)械手在兩個(gè)晶圓臺(tái)移動(dòng)裝置之間來(lái)回移動(dòng)，并在晶圓臺(tái)上取放晶圓盤。本實(shí)用新型由于采用了兩個(gè)晶圓臺(tái)移動(dòng)裝置、兩個(gè)晶圓臺(tái)、上料移動(dòng)裝置和供料機(jī)械手，上料移動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)供料機(jī)械手在兩個(gè)晶圓臺(tái)移動(dòng)裝置之間來(lái)回移動(dòng)，供料機(jī)械手分別給兩個(gè)晶圓臺(tái)供料，不需要使用人工操作，具有使用方便、供料效率高和減少了生產(chǎn)成本等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶圓盤的供料技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種半導(dǎo)體封裝一體機(jī)的自動(dòng)供料機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

目前，在晶圓片的封裝生產(chǎn)中，需要使用人工將取完晶圓片的晶圓盤從晶圓臺(tái)上取走，并且使用人工將布滿晶圓片的晶圓盤放置在晶圓臺(tái)上，造成供料效率的低，浪費(fèi)了大量的人力，增加了生產(chǎn)成本。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了克服上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種供料效率高和減少了生產(chǎn)成本的半導(dǎo)體封裝一體機(jī)的自動(dòng)供料機(jī)構(gòu)。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：提供一種半導(dǎo)體封裝一體機(jī)的自動(dòng)供料機(jī)構(gòu)，包括工作平臺(tái)，在所述工作平臺(tái)上設(shè)置有兩個(gè)晶圓臺(tái)移動(dòng)裝置、兩個(gè)晶圓臺(tái)、上料移動(dòng)裝置和供料機(jī)械手，兩個(gè)所述晶圓臺(tái)移動(dòng)裝置分別位于所述上料移動(dòng)裝置的兩側(cè)，兩個(gè)所述晶圓臺(tái)分別設(shè)置在兩個(gè)所述晶圓臺(tái)移動(dòng)裝置上，所述供料機(jī)械手與所述上料移動(dòng)裝置連接；所述上料移動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述供料機(jī)械手在兩個(gè)所述晶圓臺(tái)移動(dòng)裝置之間來(lái)回移動(dòng)，并在所述晶圓臺(tái)上取放晶圓盤。

作為對(duì)本實(shí)用新型的改進(jìn)，所述晶圓臺(tái)移動(dòng)裝置包括晶圓臺(tái)X向移動(dòng)機(jī)構(gòu)和晶圓臺(tái)Y向移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述晶圓臺(tái)X向移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括晶圓臺(tái)X向直線電機(jī)和晶圓臺(tái)X向直線導(dǎo)軌，所述晶圓臺(tái)X向直線電機(jī)的移動(dòng)端與所述晶圓臺(tái)X向直線導(dǎo)軌上的晶圓臺(tái)X向滑塊連接，所述晶圓臺(tái)Y向移動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述晶圓臺(tái)X向滑塊上；所述晶圓臺(tái)Y向移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括晶圓臺(tái)Y向直線電機(jī)和晶圓臺(tái)Y向直線導(dǎo)軌，所述晶圓臺(tái)Y向直線電機(jī)的移動(dòng)端與所述晶圓臺(tái)Y向直線導(dǎo)軌上的晶圓臺(tái)Y向滑塊連接，所述晶圓臺(tái)設(shè)置在所述晶圓臺(tái)Y向滑塊上。

作為對(duì)本實(shí)用新型的改進(jìn)，所述晶圓臺(tái)包括固定部和環(huán)狀部，所述固定部與所述晶圓臺(tái)Y向滑塊連接，在所述環(huán)狀部上設(shè)置有環(huán)形臺(tái)階部和環(huán)形活動(dòng)夾具。

作為對(duì)本實(shí)用新型的改進(jìn)，所述上料移動(dòng)裝置包括上料固定架和無(wú)桿氣缸，所述無(wú)桿氣缸設(shè)置在所述上料固定架上，所述無(wú)桿氣缸的移動(dòng)結(jié)構(gòu)與所述供料機(jī)械手連接。

作為對(duì)本實(shí)用新型的改進(jìn)，所述供料機(jī)械手包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)、轉(zhuǎn)動(dòng)固定架和兩個(gè)夾料結(jié)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)動(dòng)固定架轉(zhuǎn)動(dòng)，兩個(gè)所述夾料結(jié)構(gòu)成預(yù)定夾角設(shè)置在所述轉(zhuǎn)動(dòng)固定架上；其中一個(gè)所述夾料結(jié)構(gòu)用于夾取所述晶圓臺(tái)上的取完晶圓片的晶圓盤，則另一個(gè)所述夾料結(jié)構(gòu)將夾取的布滿晶圓片的晶圓盤放置在所述晶圓臺(tái)上。

作為對(duì)本實(shí)用新型的改進(jìn)，所述夾料結(jié)構(gòu)包括下固定夾片、夾料氣缸和上移動(dòng)夾片，所述上移動(dòng)夾片和所述下固定夾片成上下相對(duì)設(shè)置，所述夾料氣缸和所述下固定夾片設(shè)置在所述轉(zhuǎn)動(dòng)固定架上，所述上移動(dòng)夾片與所述夾料氣缸的驅(qū)動(dòng)端連接，所述夾料氣缸驅(qū)動(dòng)所述上移動(dòng)夾片和所述下固定夾片合攏或張開(kāi)。

作為對(duì)本實(shí)用新型的改進(jìn)，還包括設(shè)置在所述晶圓臺(tái)下方的頂料裝置，所述頂料裝置包括頂桿、頂料偏心輪和頂料電機(jī)，所述頂料偏心輪與所述頂料電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸連接，所述頂桿豎著設(shè)置并且所述頂桿的下端與所述頂料偏心輪的外壁接觸，所述頂料電機(jī)驅(qū)動(dòng)所述頂料偏心輪轉(zhuǎn)動(dòng)，所述頂料偏心輪驅(qū)動(dòng)所述頂桿上下運(yùn)動(dòng)。