[實(shí)用新型]一種基板自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820408790.0
• 申請(qǐng)日: 2018-03-26
• 公開（公告）號(hào): CN208266258U
• 公開（公告）日: 2018-12-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫力;楊小軍;張韜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 成都西沃克真空科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/24
• 分類號(hào): C23C14/24;C23C14/50
• 代理公司: 成都新驅(qū)科為知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 51251
• 代理人: 成實(shí)

本實(shí)用新型公開了一種基板自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，包括安裝板(1)，設(shè)置在安裝板(1)上的驅(qū)動(dòng)裝置，設(shè)置在驅(qū)動(dòng)裝置相連接的齒盤(5)，以及與驅(qū)動(dòng)裝置相連接的翻轉(zhuǎn)組件；所述翻轉(zhuǎn)組件還與齒盤(5)相連接。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，生產(chǎn)與使用的成本較低，該裝置通過設(shè)置的翻轉(zhuǎn)組件與設(shè)置在驅(qū)動(dòng)裝置上的齒盤相配合，能使安裝在翻轉(zhuǎn)組件上的基板實(shí)現(xiàn)翻轉(zhuǎn)，即基板的上下表面均可與靶材分子充分接觸，從而確保了本實(shí)用新型的基板上下表面均可承載基片，有效的提高了阻蒸鍍膜機(jī)的鍍膜效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種翻轉(zhuǎn)裝置，具體是指一種基板自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置。

背景技術(shù)

阻蒸鍍膜一般是通過設(shè)置在鍍膜機(jī)內(nèi)的阻蒸設(shè)備來(lái)加熱靶材使其表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái)，并且使靶材的原子團(tuán)或離子沉降在基片表面，通過成膜過程(散點(diǎn)－島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長(zhǎng))形成薄膜。

然而，現(xiàn)有的阻蒸鍍膜機(jī)用于承載基片的基板只能實(shí)現(xiàn)單面承載，而無(wú)法實(shí)現(xiàn)雙面承載的問題，導(dǎo)致阻蒸鍍膜機(jī)的鍍膜效率過低，從而嚴(yán)重的影響了企業(yè)的生產(chǎn)效率。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有的阻蒸鍍膜機(jī)用于承載基片的基板只能實(shí)現(xiàn)單面承載，而無(wú)法實(shí)現(xiàn)雙面承載的缺陷，提供一種基板自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置。

本實(shí)用新型的目的通過下述技術(shù)方案現(xiàn)實(shí)：一種基板自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置，包括安裝板，設(shè)置在安裝板上的驅(qū)動(dòng)裝置，設(shè)置在驅(qū)動(dòng)裝置相連接的齒盤，以及與驅(qū)動(dòng)裝置相連接的翻轉(zhuǎn)組件；所述翻轉(zhuǎn)組件還與齒盤相連接，且減速器的傳動(dòng)軸貫穿齒盤。

所述驅(qū)動(dòng)裝置包括設(shè)置在安裝板上的驅(qū)動(dòng)電機(jī)，和設(shè)置在安裝板上并與驅(qū)動(dòng)電機(jī)相連接的減速器；所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的轉(zhuǎn)軸從上至下貫穿安裝板后連接在減速器上；所述齒盤安裝在減速器的下端。

進(jìn)一步的，所述翻轉(zhuǎn)組件包括通過軸承軸連接在旋轉(zhuǎn)板上并具有開口的空腔體，設(shè)置在軸承軸下端的懸掛架，通過轉(zhuǎn)軸連接在懸掛架上并與空腔體相接觸的直齒，以及設(shè)置在軸承軸上端并與齒盤相齒合的連動(dòng)齒輪；所述轉(zhuǎn)軸的活動(dòng)連接在懸掛架上，且轉(zhuǎn)軸的一端貫穿懸掛架的架臂后與直齒相連接；所述軸承軸貫穿旋轉(zhuǎn)板后并固定在旋轉(zhuǎn)板上。

所述空腔體的開口上還設(shè)置有與直齒相匹配的齒牙。

再進(jìn)一步的，所述軸承軸包括分別與旋轉(zhuǎn)板和空腔體相連接的安裝筒，分別設(shè)置在安裝筒兩端的軸承，以及穿過兩軸承的內(nèi)軸；所述內(nèi)軸的下端從上至下貫穿空腔體后與懸掛架相連接；所述連動(dòng)齒輪連接在內(nèi)軸的上端上。

更進(jìn)一步的，所述轉(zhuǎn)軸上設(shè)置有基板。

本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn)及有益效果：

(1)本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，生產(chǎn)與使用的成本較低，該裝置通過設(shè)置的翻轉(zhuǎn)組件與設(shè)置在驅(qū)動(dòng)裝置上的齒盤相配合，能使安裝在翻轉(zhuǎn)組件上的基板實(shí)現(xiàn)翻轉(zhuǎn)，即基板的上下表面均可與靶材分子充分接觸，從而確保了本實(shí)用新型的基板上下表面均可承載基片，有效的提高了阻蒸鍍膜機(jī)的鍍膜效率。

(2)本實(shí)用新型的驅(qū)動(dòng)裝置采用了驅(qū)動(dòng)電機(jī)與減速器相配合的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)，能有效的確保基板翻轉(zhuǎn)速度的穩(wěn)定性，從而提高了基片鍍膜的效果。

(3)本實(shí)用新型的翻轉(zhuǎn)組件的帶齒牙的空腔體與直齒相配合，不僅能使基板實(shí)現(xiàn)翻轉(zhuǎn)，還能確保基板的上下表面所承載的基片鍍膜更均勻。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實(shí)用新型的軸承軸的結(jié)構(gòu)示意圖。

上述附圖中，附圖標(biāo)記對(duì)應(yīng)的部件名稱如下：

1—安裝板，2—驅(qū)動(dòng)電機(jī)，3—減速器，4—連動(dòng)齒輪，5—齒盤，6—旋轉(zhuǎn)板，7—空腔體，8—懸掛架，9—基板，10—直齒，11—轉(zhuǎn)軸，12—軸承軸，13—齒牙，14—安裝筒，15—內(nèi)軸，16—軸承。