[實(shí)用新型]一種基板自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820408790.0
• 申請(qǐng)日: 2018-03-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208266258U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-12-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫力;楊小軍;張韜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 成都西沃克真空科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/24
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/24;C23C14/50
• 代理公司: 成都新驅(qū)科為知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 51251
• 代理人: 成實(shí)

1.一種基板自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，包括安裝板(1)，設(shè)置在安裝板(1)上的驅(qū)動(dòng)裝置，設(shè)置在驅(qū)動(dòng)裝置相連接的齒盤(pán)(5)，以及與驅(qū)動(dòng)裝置相連接的翻轉(zhuǎn)組件；所述翻轉(zhuǎn)組件還與齒盤(pán)(5)相連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基板自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)裝置包括設(shè)置在安裝板(1)上的驅(qū)動(dòng)電機(jī)(2)，和設(shè)置在安裝板(1)上并與驅(qū)動(dòng)電機(jī)(2)相連接的減速器(3)；所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)(2)的轉(zhuǎn)軸從上至下貫穿安裝板(1)后連接在減速器(3)上；所述齒盤(pán)(5)安裝在減速器(3)的下端，且減速器(3)的傳動(dòng)軸貫穿齒盤(pán)(5)；所述減速器(3)的傳動(dòng)軸上設(shè)置有旋轉(zhuǎn)板(6)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基板自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于：所述翻轉(zhuǎn)組件包括通過(guò)軸承軸(12)連接在旋轉(zhuǎn)板(6)上并具有開(kāi)口的空腔體(7)，設(shè)置在軸承軸(12)下端的懸掛架(8)，通過(guò)轉(zhuǎn)軸(11)連接在懸掛架(8)上并與空腔體(7)相接觸的直齒(10)，以及設(shè)置在軸承軸(12)上端并與齒盤(pán)(5)相齒合的連動(dòng)齒輪(4)；所述轉(zhuǎn)軸(11)的活動(dòng)連接在懸掛架(8)上，且轉(zhuǎn)軸(11)的一端貫穿懸掛架(8)的架臂后與直齒(10)相連接；所述軸承軸(12)貫穿旋轉(zhuǎn)板(6)后并固定在旋轉(zhuǎn)板(6)上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種基板自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于：所述空腔體(7)的開(kāi)口上還設(shè)置有與直齒(10)相匹配的齒牙(13)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種基板自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于：所述軸承軸(12)包括分別與旋轉(zhuǎn)板(6)和空腔體(7)相連接的安裝筒(14)，分別設(shè)置在安裝筒(14)兩端的軸承(16)，以及穿過(guò)兩軸承(16)的內(nèi)軸(15)；所述內(nèi)軸(15)的下端從上至下貫穿空腔體(7)后與懸掛架(8)相連接；所述連動(dòng)齒輪(4)連接在內(nèi)軸(15)的上端上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種基板自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于：所述轉(zhuǎn)軸(11)上設(shè)置有基板(9)。