[實用新型]霍爾元件和霍爾傳感器

有效

• 申請號: 201820402838.7
• 申請日: 2018-03-23
• 公開（公告）號: CN208315610U
• 公開（公告）日: 2019-01-01
• 發明（設計）人: 小路智也;赤木剛
• 申請（專利權）人: 旭化成微電子株式會社
• 主分類號: H01L43/06
• 分類號: H01L43/06;H01L43/04;H01L43/14
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

本實用新型提供一種霍爾元件和霍爾傳感器，該霍爾元件能夠抑制因應力變動發生的霍爾元件的霍爾輸出電壓的變動?；魻栐?100)形成為具有：基板(10)；磁感應部(20)，其形成于基板(10)上；絕緣膜(40)，其形成于磁感應部(20)上；四個導電部(電極部(31～34)以及接觸部(51～54))，其形成于絕緣膜(40)上且貫穿絕緣膜(40)地與磁感應部(20)電連接，并分別配置于成為四邊形的頂點的位置；以及球部(61～64)，其與導電部電連接，在霍爾元件中，將至少一個球部配置于：位于由四個導電部包圍的區域所形成的四邊形的對角線上的、位于導電部與絕緣膜(40)相接觸的部分的上部的位置。

技術領域

本實用新型涉及一種霍爾元件和霍爾傳感器。

背景技術

以往公知一種霍爾元件，其具有用于連接磁感應部和電極焊盤的接觸部 (例如參照專利文獻1、專利文獻2)。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開昭60-175471號公報

專利文獻2：日本特開昭62-12974號公報

實用新型內容

實用新型要解決的問題

在以往的霍爾元件中，電流在接觸部下端集中。因此，當由于溫度環境的變化等導致覆蓋霍爾元件主體的周圍的模制樹脂發生變形等時，有可能因該變形導致霍爾元件主體發生應力變動，局部的傳導率發生變化。特別是當在電流集中的接觸部的周圍附近發生應力變動時，有可能使霍爾輸出的偏移電壓發生變動，結果導致霍爾輸出電壓產生不均。

因此，本實用新型是著眼于以往未解決的問題而完成的，其目的在于提供一種霍爾元件，該霍爾元件能夠抑制在因溫度環境的變化等導致的應力變動的作用下發生的霍爾輸出電壓的變動。

用于解決問題的方案

為了達成上述目的，本實用新型的一個方式的霍爾元件的特征在于，其具有：基板；磁感應部，其形成于該基板上；絕緣膜，其形成于該磁感應部上；四個導電部，其形成于所述絕緣膜上且貫穿所述絕緣膜地與所述磁感應部電連接；以及球部，其與該導電部電連接，至少一個所述球部配置于：位于由所述四個導電部包圍的區域所形成的四邊形的對角線上的、位于所述導電部與所述絕緣膜相接觸的部分的上部的位置。

此外，在本實用新型的霍爾元件中，優選地，在所述四個導電部中位于同一所述對角線上的、至少一個導電部對所含有的導電部分別與所述絕緣膜相接觸的部分的上部分別配置有所述球部。

此外，在本實用新型的霍爾元件中，優選地，在所述四個導電部分別與所述絕緣膜相接觸的部分的上部分別配置有所述球部。

此外，在本實用新型的霍爾元件中，優選地，所述磁感應部為四邊形的形狀，所述導電部配置于所述磁感應部的各個角部。

此外，在本實用新型的霍爾元件中，優選地，所述球部為導電性材料。

此外，在本實用新型的霍爾元件中，優選地，所述基板為半導體基板。

此外，在本實用新型的霍爾元件中，優選地，所述基板為GaAs基板。

此外，在本實用新型的霍爾元件中，優選地，所述基板的電阻率為 1.0×105Ω·cm以上，1.0×109Ω·cm以下。

此外，在本實用新型的霍爾元件中，優選地，所述基板具有正方形的平面形狀。

此外，在本實用新型的霍爾元件中，優選地，所述基板具有與所述磁感應部的平面形狀相似的、比所述磁感應部大的平面形狀。

此外，在本實用新型的霍爾元件中，優選地，所述磁感應部為電阻低于所述基板的電阻的層。