[實用新型]一種高純雙二乙胺基硅烷制備裝置有效
| 申請號： | 201820389065.3 | 申請日： | 2018-03-21 |
| 公開（公告）號： | CN208218736U | 公開（公告）日： | 2018-12-11 |
| 發明（設計）人： | 趙毅;趙趫;王天源;計燕秋;張琳 | 申請（專利權）人： | 大連科利德光電子材料有限公司 |
| 主分類號： | C07F7/10 | 分類號： | C07F7/10 |
| 代理公司： | 大連東方專利代理有限責任公司 21212 | 代理人： | 周媛媛;李馨 |
| 地址： | 116000 遼寧省大*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硅烷 本實用新型 二乙胺基 精餾塔釜 制備裝置 冷凝器 高純 底部連接過濾器 過濾器 二乙基氨基 反應器頂部 精餾塔頂部 連接接收器 接收器 底部連接 雜質指標 反應器 高k薄膜 電子級 加料器 精餾塔 氧化硅 硅系 制備 生長 | ||
【權利要求書】：
1.一種高純雙二乙胺基硅烷制備裝置，其特征在于：包括反應器，反應器頂部設有加料器和冷凝器，冷凝器底部連接過濾器頂部，過濾器底部連接精餾塔釜，精餾塔釜上部連接精餾塔，精餾塔頂部連接接收器A和接收器B。
2.根據權利要求1所述高純雙二乙胺基硅烷制備裝置，其特征在于：反應器中設有攪拌裝置。
3.根據權利要求1所述高純雙二乙胺基硅烷制備裝置，其特征在于：精餾塔中采用2mm石英環填料。
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