[實用新型]硅片托舉裝置

有效

• 申請號: 201820379256.1
• 申請日: 2018-03-20
• 公開（公告）號: CN207896071U
• 公開（公告）日: 2018-09-21
• 發明（設計）人: 許明現;李文博;郭政;蔡涔
• 申請（專利權）人: 君泰創新（北京）科技有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 楊潔;周放

本實用新型公開了一種硅片托舉裝置，包括底框、滑移塊、第一升降組件、托架和第二升降組件；滑移塊滑動安裝于底框上；且能在底框上沿X方向移動；第一升降組件滑動安裝于滑移塊上；且能在滑移塊上沿Y方向移動，第一升降組件包括能在第一升降組件上沿Z方向移動的第一升降板；托架的第一端與第一升降板固定連接，第二端沿X方向延伸；第二升降組件固定于底框上，第二升降板支撐在托架的第二端上，且包括能與第一升降板同步沿Z方向移動的第二升降板。本實用新型中，托架的兩端分別被第一和第二升降組件支撐，且第一和第二升降組件同步運行，保證托架的兩端同步移動的前提下，增加托架的支撐點，避免托架移動過程中的晃動，增加托盤平穩性。

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池技術領域，尤其涉及一種硅片托舉裝置。

背景技術

太陽能電池是未來公認的可大規模推廣應用的清潔能源之一，隨著能源不斷減少，且其他能源的使用會帶來不可估量的環境污染，人們對清潔能源越來的呼聲越來越高，并伴隨著國家環保意識的加強，我國也是大力支持這一發電方式，尤其對高效電池方面支持力度逐年上升，而高效異質結電池作為高效電池發電效率前列，在高效電池領域中占據很大的比重。

制備該類電池中最為關鍵的工序和設備就是PECVD制備工藝與設備，而其中硅片的傳送作為該工序的一個重要環節，即由傳送裝置將硅片原片傳送到PECVD腔室前，再通過移載機構帶動已排布好硅片原片的托盤放置到PECVD的腔室中。由于托盤對應的托架約2.5米左右，并且其尺寸有嚴格的控制，由于自身剛性和長度原因，很容易造成移載機構托舉和下降時產生晃動，那么如何實現托盤的平穩升降，是擺在設計人員面前一大難題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種硅片托舉裝置，以解決上述問題，保證硅片在托盤上的位置準確，不受升降、輸送過程的顫抖和擺動情況的影響，確保硅片的精確輸送。

本實用新型提供的硅片托舉裝置，包括：

底框；

滑移塊，所述滑移塊滑動安裝于所述底框上；且所述滑移塊能在所述底框上沿X方向移動；

第一升降組件，滑動安裝于所述滑移塊上；且所述第一升降組件能在所述滑移塊上沿Y方向移動；所述第一升降組件包括第一升降板，所述第一升降板能在所述第一升降組件上沿Z方向移動；

托架，所述托架的第一端與所述第一升降板固定連接，所述托架的第二端沿X方向延伸；

第二升降組件，固定于所述底框上，所述第二升降組件包括第二升降板，所述第二升降板支撐所述托架的第二端，所述第二升降板能在所述升降組件上沿Z方向移動，且所述第二升降板與所述第一升降板的移動保持同步。

如上所述的硅片托舉裝置，其中，優選的是，所述底框上設有兩相互平行且沿X方向的第一軌道；所述滑移塊的兩端滑動安裝于兩所述第一軌道上；

所述滑移塊上設置有沿Y方向的第二軌道；所述第一升降組件滑動安裝于所述第二軌道上。

如上所述的硅片托舉裝置，其中，優選的是，所述第一升降組件還包括第一安裝板；所述第一安裝板滑動安裝于所述第二軌道上；

所述第一安裝板設置有沿Z方向的第三軌道，所述第一升降板滑動安裝于所述第三軌道上。

如上所述的硅片托舉裝置，其中，優選的是，所述第一升降組件還包括第一驅動裝置，所述第一驅動裝置設置于所述第一安裝板上，所述第一驅動裝置與所述第一升降板傳動連接，用于驅動所述第一升降板沿所述第三軌道滑動。

如上所述的硅片托舉裝置，其中，優選的是，所述第二升降組件還包括第二安裝板，所述第二安裝板設置于所述底框上，所述第二安裝板設置有沿Z方向的第四軌道，所述第二升降板滑動安裝于所述第四軌道上。