[實用新型]硅片托舉裝置

有效

• 申請號: 201820379256.1
• 申請日: 2018-03-20
• 公開（公告）號: CN207896071U
• 公開（公告）日: 2018-09-21
• 發明（設計）人: 許明現;李文博;郭政;蔡涔
• 申請（專利權）人: 君泰創新（北京）科技有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 楊潔;周放

1.一種硅片托舉裝置，其特征在于，包括：

底框；

滑移塊，所述滑移塊滑動安裝于所述底框上；且所述滑移塊能在所述底框上沿X方向移動；

第一升降組件，滑動安裝于所述滑移塊上；且所述第一升降組件能在所述滑移塊上沿Y方向移動；所述第一升降組件包括第一升降板，所述第一升降板能在所述第一升降組件上沿Z方向移動；

托架，所述托架的第一端與所述第一升降板固定連接，所述托架的第二端沿X方向延伸；

第二升降組件，固定于所述底框上，所述第二升降組件包括第二升降板，所述第二升降板支撐所述托架的第二端，所述第二升降板能在所述升降組件上沿Z方向移動，且所述第二升降板與所述第一升降板的移動保持同步。

2.根據權利要求1所述的硅片托舉裝置，其特征在于，所述底框上設有兩相互平行且沿X方向的第一軌道；所述滑移塊的兩端滑動安裝于兩所述第一軌道上；

所述滑移塊上設置有沿Y方向的第二軌道；所述第一升降組件滑動安裝于所述第二軌道上。

3.根據權利要求2所述的硅片托舉裝置，其特征在于，所述第一升降組件還包括第一安裝板；所述第一安裝板滑動安裝于所述第二軌道上；

所述第一安裝板設置有沿Z方向的第三軌道，所述第一升降板滑動安裝于所述第三軌道上。

4.根據權利要求3所述的硅片托舉裝置，其特征在于，所述第一升降組件還包括第一驅動裝置，所述第一驅動裝置設置于所述第一安裝板上，所述第一驅動裝置與所述第一升降板傳動連接，用于驅動所述第一升降板沿所述第三軌道滑動。

5.根據權利要求1所述的硅片托舉裝置，其特征在于，所述第二升降組件還包括第二安裝板，所述第二安裝板設置于所述底框上，所述第二安裝板設置有沿Z方向的第四軌道，所述第二升降板滑動安裝于所述第四軌道上。

6.根據權利要求5所述的硅片托舉裝置，其特征在于，所述第二升降組件還包括第二驅動裝置，所述第二驅動裝置設置于所述第二安裝板上，所述第二驅動裝置與所述第二升降板傳動連接，用于驅動所述第二升降板沿所述第四軌道滑動。

7.根據權利要求5所述的硅片托舉裝置，其特征在于，所述第二升降板包括連接板和支撐板，所述連接板和所述支撐板成L形固定連接，所述連接板與所述第四軌道滑動連接，所述支撐板上設置有導輪，所述導輪支撐所述托架的第二端。

8.根據權利要求1所述的硅片托舉裝置，其特征在于，所述托架包括固定板和托舉板，所述固定板與所述托舉板成L形固定連接，所述固定板與所述第一升降板固定連接，所述托舉板沿X方向延伸。

9.根據權利要求8所述的硅片托舉裝置，其特征在于，所述托舉板上設置有U形槽。

10.根據權利要求1-9中任一項所述的硅片托舉裝置，其特征在于，還包括滑移驅動裝置，所述滑移驅動裝置連接于所述底框上，用于驅動所述滑移塊沿X方向滑動。