[實用新型]熱絲固定裝置及金剛石薄膜生長設備

有效

• 申請號: 201820365870.2
• 申請日: 2018-03-16
• 公開（公告）號: CN208328100U
• 公開（公告）日: 2019-01-04
• 發明（設計）人: 唐永炳;陳波;王陶;楊揚;張松全
• 申請（專利權）人: 深圳先進技術研究院
• 主分類號: C23C16/27
• 分類號: C23C16/27;C23C16/52
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 王暉

本實用新型是一種熱絲固定裝置及金剛石薄膜生長設備，涉及金剛石薄膜制備技術領域，為解決現有熱絲氣相沉積法制備金剛石薄膜的過程中，無法對溫度場進行有效控制，從而無法獲得品質良好的金剛石薄膜的問題而設計。該熱絲固定裝置包括至少一個用于固定熱絲的絲架，至少一個絲架上安裝有測溫元件承載架，測溫元件承載架用于安裝測溫元件，以對鍍膜的環境溫度進行測量，測溫元件承載架滑動安裝于絲架，安裝于測溫元件承載架的測溫元件能夠伸入鍍膜區間。該金剛石薄膜生長設備包括上述熱絲固定裝置。本實用新型提供的熱絲固定裝置及金剛石薄膜生長設備用于在襯底上獲得品質良好的金剛石薄膜。

技術領域

本實用新型涉及金剛石薄膜制備技術領域，尤其涉及一種熱絲固定裝置及金剛石薄膜生長設備。

背景技術

熱絲氣相沉積法制備金剛石薄膜的基本原理如下：具有金剛石分子結構的碳源(如：甲烷和丙酮等)和氫氣組成的混合氣體通過金屬熱絲，在熱絲形成的高溫場中分解出甲基和氫原子，并且，在一定的腔內壓力下，大量的甲基與溫度合適的襯底表面作用及甲基之間的復合反應，使得高溫場內生成雜化的碳氫基團，這些碳氫基團在襯底表面沉積，從而在襯底表面形成金剛石薄膜。

為了得到品質良好的金剛石薄膜，通常需要合適的溫度及穩定的溫度場，而影響溫度場的主要因素主要包括熱絲的數量、熱絲的布置位置、熱絲之間的間距及熱絲與樣品臺之間的間距等?，F有技術中，在熱絲氣相沉積法制備金剛石薄膜的過程中，操作者無法根據當前的熱絲布置形式獲知此時的溫度場情況，也就無法根據溫度場情形對熱絲的布置形式進行合理調整，從而也就無法在襯底表面得到品質良好的金剛石薄膜。

實用新型內容

本實用新型的第一個目的在于提供一種熱絲固定裝置，以解決現有熱絲氣相沉積法制備金剛石薄膜的過程中，無法對溫度場進行有效控制，從而無法獲得品質良好的金剛石薄膜的技術問題。

本實用新型提供的熱絲固定裝置，包括至少一個用于固定熱絲的絲架，至少一個所述絲架上安裝有測溫元件承載架，所述測溫元件承載架用于安裝測溫元件，以對鍍膜的環境溫度進行測量。

所述測溫元件承載架滑動安裝于所述絲架，安裝于所述測溫元件承載架的測溫元件能夠伸入鍍膜區間。

進一步地，所述絲架為多個，各所述絲架沿襯底的長度方向間隔布置。

進一步地，所述絲架包括間隔設置的熱絲固定座，各所述熱絲固定座位置固定，各所述熱絲的兩端分別鉤接于各所述熱絲固定座。

進一步地，每一所述熱絲固定座上均設置有多個凸柱，各所述凸柱沿熱絲的排布方向間隔設置在所述熱絲固定座上，各所述熱絲的兩端能夠分別鉤接于各所述熱絲固定座上的凸柱。

進一步地，所述絲架還包括間隔設置的熱絲承載棒，鉤接于兩所述熱絲固定座之間的各熱絲緊密貼合于各所述熱絲承載棒，且各熱絲能夠沿所述熱絲承載棒的長度方向間隔設置。

兩所述熱絲承載棒之間連接有絕緣撐桿，各所述熱絲固定座分別固定于各所述熱絲承載棒，且所述熱絲固定座與所述熱絲承載棒相絕緣。

電流加載于各所述熱絲承載棒，對貼合于各所述熱絲承載棒的熱絲進行加熱，使兩所述熱絲承載棒之間形成所述鍍膜區間。

進一步地，所述測溫元件承載架包括U形滑座，所述U形滑座的U形槽卡接于所述絕緣撐桿，第一鎖緊件能夠穿過所述U形滑座的一側邊將所述U形滑座固定于所述絕緣撐桿。

進一步地，所述測溫元件承載架還包括沿襯底長度方向延伸的承載柱，所述承載柱固設于所述U形滑座，所述承載柱上滑動安裝有用于固定測溫元件的熱電偶固定座。

進一步地，所述承載柱的橫截面為圓形，所述熱電偶固定座套裝于所述承載柱，并由第二鎖緊件鎖定。

本實用新型熱絲固定裝置帶來的有益效果是：