[實用新型]熱絲固定裝置及金剛石薄膜生長設備

有效

• 申請號: 201820365870.2
• 申請日: 2018-03-16
• 公開（公告）號: CN208328100U
• 公開（公告）日: 2019-01-04
• 發明（設計）人: 唐永炳;陳波;王陶;楊揚;張松全
• 申請（專利權）人: 深圳先進技術研究院
• 主分類號: C23C16/27
• 分類號: C23C16/27;C23C16/52
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 王暉

1.一種熱絲固定裝置，其特征在于，包括至少一個用于固定熱絲(200)的絲架(100)，至少一個所述絲架(100)上安裝有測溫元件承載架(600)，所述測溫元件承載架(600)用于安裝測溫元件，以對鍍膜的環境溫度進行測量；

所述測溫元件承載架(600)滑動安裝于所述絲架(100)，安裝于所述測溫元件承載架(600)的測溫元件能夠伸入鍍膜區間。

2.根據權利要求1所述的熱絲固定裝置，其特征在于，所述絲架(100)為多個，各所述絲架(100)沿襯底的長度方向間隔布置。

3.根據權利要求1所述的熱絲固定裝置，其特征在于，所述絲架(100)包括間隔設置的熱絲固定座(130)，各所述熱絲固定座(130)位置固定，各所述熱絲(200)的兩端分別鉤接于各所述熱絲固定座(130)。

4.根據權利要求3所述的熱絲固定裝置，其特征在于，每一所述熱絲固定座(130)上均設置有多個凸柱(131)，各所述凸柱(131)沿熱絲(200)的排布方向間隔設置在所述熱絲固定座(130)上，各所述熱絲(200)的兩端能夠分別鉤接于各所述熱絲固定座(130)上的凸柱(131)。

5.根據權利要求3所述的熱絲固定裝置，其特征在于，所述絲架(100)還包括間隔設置的熱絲承載棒(110)，鉤接于兩所述熱絲固定座(130)之間的各熱絲(200)緊密貼合于各所述熱絲承載棒(110)，且各熱絲(200)能夠沿所述熱絲承載棒(110)的長度方向間隔設置；

兩所述熱絲承載棒(110)之間連接有絕緣撐桿(120)，各所述熱絲固定座(130)分別固定于各所述熱絲承載棒(110)，且所述熱絲固定座(130)與所述熱絲承載棒(110)相絕緣；

電流加載于各所述熱絲承載棒(110)，對貼合于各所述熱絲承載棒(110)的熱絲(200)進行加熱，使兩所述熱絲承載棒(110)之間形成所述鍍膜區間。

6.根據權利要求5所述的熱絲固定裝置，其特征在于，所述測溫元件承載架(600)包括U形滑座(610)，所述U形滑座(610)的U形槽卡接于所述絕緣撐桿(120)，第一鎖緊件(620)能夠穿過所述U形滑座(610)的一側邊將所述U形滑座(610)固定于所述絕緣撐桿(120)。

7.根據權利要求6所述的熱絲固定裝置，其特征在于，所述測溫元件承載架(600)還包括沿襯底長度方向延伸的承載柱(630)，所述承載柱(630)固設于所述U形滑座(610)，所述承載柱(630)上滑動安裝有用于固定測溫元件的熱電偶固定座(640)。

8.根據權利要求7所述的熱絲固定裝置，其特征在于，所述承載柱(630)的橫截面為圓形，所述熱電偶固定座(640)套裝于所述承載柱(630)，并由第二鎖緊件(650)鎖定。

9.一種金剛石薄膜生長設備，其特征在于，包括內腔、測溫元件、若干熱絲(200)和權利要求1-8任一項所述的熱絲固定裝置；

所述熱絲固定裝置位于所述內腔中，各所述熱絲(200)均安裝在所述絲架(100)上，所述測溫元件安裝于所述測溫元件承載架(600)，用于對所述鍍膜區間的溫度進行測量。

10.根據權利要求9所述的金剛石薄膜生長設備，其特征在于，還包括若干彈性件，各所述彈性件的一端分別連接所述絲架(100)，另一端連接各所述熱絲(200)。