[實用新型]工藝腔真空系統和半導體裝置

有效

• 申請號: 201820354952.7
• 申請日: 2018-03-15
• 公開（公告）號: CN208014646U
• 公開（公告）日: 2018-10-26
• 發明（設計）人: 薛強;闞保國;劉家樺
• 申請（專利權）人: 德淮半導體有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 上海思捷知識產權代理有限公司 31295
• 代理人: 王宏婧

本實用新型提供一種工藝腔真空系統和半導體裝置，包括擺閥匹配盤懸架、裝配螺栓和驅動桿，所述裝配螺栓用于將所述擺閥匹配盤懸架固定在一腔體上，所述裝配螺栓包括螺桿以及與所述螺桿連接的頭部，所述頭部與所述螺桿同軸，所述頭部的外周面上設置有渦輪結構，所述驅動桿的外周面上設置有至少一個與所述裝配螺栓上的渦輪結構相嚙合的蝸桿結構，所述蝸桿結構用于驅動所述裝配螺栓轉動。所述工藝腔真空系統通過轉動驅動桿，以通過蝸桿結構驅動渦輪結構旋轉，進而帶動裝配螺栓旋轉，從而實現裝配螺栓的拆裝，由于僅需帶動驅動桿旋轉，而驅動桿轉動需要的空間較小，因此可提高工藝腔真空系統和半導體裝置的擺閥匹配盤懸架的裝配螺栓的安裝便利性。

技術領域

本實用新型涉及半導體設備制造技術領域，特別涉及一種工藝腔真空系統和半導體裝置。

背景技術

蝕刻裝置的工藝腔真空系統主要包括渦輪分子泵(TMP：Turbo Molecule Pump)、擺閥(Pendulum Valve)和擺閥匹配盤(Adapter plate)。渦輪分子泵的主要作用是抽真空，以使工藝腔內氣壓保持在真空狀態；擺閥的作用是控制工藝腔與渦輪泵的連通或隔離，具體通過擺閥中的行程馬達控制閥腔內的擺盤的開合度，進而控制工藝腔與渦輪泵的連通或隔離，同時實現對工藝腔內的氣壓的調節。渦輪分子泵、擺閥及擺閥匹配盤組合成一個緊密的整體部件，并通過擺閥匹配盤懸架固定在工藝腔的腔體上。具體的，渦輪分子泵、擺閥及擺閥匹配盤掛設在擺閥匹配盤懸架上，擺閥匹配盤懸架通過裝配螺栓與工藝腔的腔體固定連接。

目前，上述裝配螺栓多為六角形，且多個六角形的裝配螺栓分布于擺閥匹配盤的左右兩側。，由于擺閥與擺閥匹配盤懸架之間的間隙有限，棘輪扳手無法套入，只能使用開口扳手；由于工藝腔側面設計有若干附屬部件(不銹鋼氣管、閥門、控制電路板、溫度/壓力傳感器等等)，拆裝裝配螺栓時扳手可旋轉幅度有限。因此，拆裝裝配螺栓特別費時費力，加長扳手力臂則有風險誤觸蝕刻裝置上的其它工藝腔從而引發故障。

因此，急需對現有的蝕刻裝置進行改進。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種工藝腔真空系統和半導體裝置，以提高工藝腔真空系統和半導體裝置的擺閥匹配盤懸架的裝配螺栓的安裝便利性。

為解決上述技術問題，本實用新型提供一種工藝腔真空系統，包括擺閥匹配盤懸架、裝配螺栓和驅動桿，所述裝配螺栓用于將所述擺閥匹配盤懸架固定在一腔體上，所述裝配螺栓包括螺桿以及與所述螺桿連接的頭部，所述頭部與所述螺桿同軸，所述頭部的外周面上設置有渦輪結構，所述驅動桿的外周面上設置有至少一個與所述裝配螺栓上的渦輪結構相嚙合的蝸桿結構，所述蝸桿結構用于驅動所述裝配螺栓轉動。

可選的，所述裝配螺栓還包括定位部，所述定位部與所述頭部連接，所述定位部設置在所述頭部遠離所述螺桿的一端，所述定位部用于限定所述裝配螺栓的徑向移動。

可選的，所述定位部為設置在所述頭部上的環狀凸起。

可選的，所述驅動桿的軸向端面上設置有與所述驅動桿同軸的內六角孔。

可選的，還包括與所述內六角孔相配合的內六角扳手。

可選的，還包括與所述驅動桿轉動連接的支撐架，以及與所述支撐架固定連接的底板。

可選的，所述底板上設置有多個限位部，所述限位部與所述定位部相匹配用于限定所述裝配螺栓徑向移動。

可選的，所述限位部為開設在所述底板上的多個環形凹槽，所述環形凹槽與所述環形凸起相配合。

本實用新型還提供一種半導體裝置，包括腔體以及上述的工藝腔真空系統。

可選的，所述半導體裝置是蝕刻裝置。

本實用新型提供的一種工藝腔真空系統和半導體裝置，具有以下有益效果：