[實用新型]一種基于多角度控制機構的蝕刻裝置

有效

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• 申請日: 2018-03-15
• 公開（公告）號: CN207765421U
• 公開（公告）日: 2018-08-24
• 發(fā)明（設計）人: 許孟凱;林豪;黃建順;王嘉偉;陳勝男;林張鴻;林偉銘
• 申請（專利權）人: 福建省福聯集成電路有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 福州市景弘專利代理事務所(普通合伙) 35219
• 代理人: 林祥翔;徐劍兵

本實用新型公開一種基于多角度控制機構的蝕刻裝置，包括多角度控制機構、機械手臂、溢流槽、反應槽和循環(huán)管路單元，多角度控制機構包括上下運動單元和旋轉單元。本技術方案通過多角度控制機構，使得晶圓在通過機械手臂進入反應溶液中時，使用旋轉單元讓晶圓可以在溶液中旋轉，使得晶圓得以充分的反應，避免晶圓在進入溶液中時產生大量的氣泡，進而影響晶圓與溶液之間的反應效率。在反應槽的槽口邊緣具有一個溢流槽，通過溢流槽可以收集反應槽內溢流出的溶液，繼而通過循環(huán)管路單元使得溢流槽內的溶液重新回流到反應槽中，達到了反應溶液循環(huán)流動的目的，進而提高晶圓的反應效率。

技術領域

本實用新型涉及晶圓蝕刻裝置技術領域，尤其涉及一種基于多角度控制機構的蝕刻裝置。

背景技術

晶圓蝕刻裝置即利用溶液對晶圓進行蝕刻的裝置，現有的晶圓蝕刻的吊臂只具有上下移動的功能，即將晶圓放入溶液中，或者從溶液中取出，其功能較為單一。而且晶圓通過吊臂只能上下運動，在進入溶液中在晶圓表面形成較多的氣泡，而且在晶圓反應的效率上較低。在拿取晶圓時，需要人們從相對較高的吊臂上拿取，形成較多的不便。

發(fā)明內容

為此，需要提供一種基于多角度控制機構的蝕刻裝置，解決現有蝕刻裝置在功能單一的問題。

為實現上述目的，發(fā)明人提供了一種基于多角度控制機構的蝕刻裝置，包括多角度控制機構、機械手臂、溢流槽、反應槽和循環(huán)管路單元；

多角度控制機構包括上下運動單元和旋轉單元，旋轉單元的輸出軸與機械手臂的驅動端連接，旋轉單元的固定端設置在上下運動單元上；

溢流槽環(huán)繞于反應槽的槽口外側設置，循環(huán)管路的一端與溢流槽管連接，循環(huán)管路的另一端與反應槽管連接，多角度控制機構位于反應槽的上方。

進一步地，所述多角度控制機構還包括前后運動單元，上下運動單元設置在前后運動單元的機架上。

進一步地，所述多角度控制機構還包括左右運動單元，前后運動單元設置在左右運動單元的機架上。

進一步地，所述旋轉單元為旋轉電機和固定架，旋轉電機設置在固定架上，固定架設置在上下運動單元上，旋轉電機的輸出軸與機械手臂軸連接。

區(qū)別于現有技術，上述技術方案通過多角度控制機構，使得晶圓在通過機械手臂進入反應溶液中時，使用旋轉單元讓晶圓可以在溶液中旋轉，使得晶圓得以充分的反應，避免晶圓在進入溶液中時產生大量的氣泡，進而影響晶圓與溶液之間的反應效率。在反應槽的槽口邊緣具有一個溢流槽，通過溢流槽可以收集反應槽內溢流出的溶液，繼而通過循環(huán)管路單元使得溢流槽內的溶液重新回流到反應槽中，達到了反應溶液循環(huán)流動的目的，進而提高晶圓的反應效率。

附圖說明

圖1為改進前技術所述蝕刻裝置的結構示意圖；

圖2為具體實施方式所述的蝕刻裝置的結構示意圖；

附圖標記說明：

10、多角度控制機構；101、上下運動單元；102、旋轉單元；

103、前后運動單元；104、左右運動單元；

20、機械手臂；30、溢流槽；40、反應槽；50、循環(huán)管路單元；

60、噴淋單元；601、噴淋管；602、噴淋口；

具體實施方式

為詳細說明技術方案的技術內容、構造特征、所實現目的及效果，以下結合具體實施例并配合附圖詳予說明。