[實(shí)用新型]一種基于多角度控制機(jī)構(gòu)的蝕刻裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820354939.1
• 申請(qǐng)日: 2018-03-15
• 公開（公告）號(hào): CN207765421U
• 公開（公告）日: 2018-08-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 許孟凱;林豪;黃建順;王嘉偉;陳勝男;林張鴻;林偉銘
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 福建省福聯(lián)集成電路有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 福州市景弘專利代理事務(wù)所(普通合伙) 35219
• 代理人: 林祥翔;徐劍兵

1.一種基于多角度控制機(jī)構(gòu)的蝕刻裝置，其特征在于：包括多角度控制機(jī)構(gòu)、機(jī)械手臂、溢流槽、反應(yīng)槽和循環(huán)管路單元；

多角度控制機(jī)構(gòu)包括上下運(yùn)動(dòng)單元和旋轉(zhuǎn)單元，旋轉(zhuǎn)單元的輸出軸與機(jī)械手臂的驅(qū)動(dòng)端連接，旋轉(zhuǎn)單元的固定端設(shè)置在上下運(yùn)動(dòng)單元上；

溢流槽環(huán)繞于反應(yīng)槽的槽口外側(cè)設(shè)置，循環(huán)管路的一端與溢流槽管連接，循環(huán)管路的另一端與反應(yīng)槽管連接，多角度控制機(jī)構(gòu)位于反應(yīng)槽的上方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于多角度控制機(jī)構(gòu)的蝕刻裝置，其特征在于：所述多角度控制機(jī)構(gòu)還包括前后運(yùn)動(dòng)單元，上下運(yùn)動(dòng)單元設(shè)置在前后運(yùn)動(dòng)單元的機(jī)架上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于多角度控制機(jī)構(gòu)的蝕刻裝置，其特征在于：所述多角度控制機(jī)構(gòu)還包括左右運(yùn)動(dòng)單元，前后運(yùn)動(dòng)單元設(shè)置在左右運(yùn)動(dòng)單元的機(jī)架上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于多角度控制機(jī)構(gòu)的蝕刻裝置，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)單元為旋轉(zhuǎn)電機(jī)和固定架，旋轉(zhuǎn)電機(jī)設(shè)置在固定架上，固定架設(shè)置在上下運(yùn)動(dòng)單元上，旋轉(zhuǎn)電機(jī)的輸出軸與機(jī)械手臂軸連接。