[實用新型]光學晶片切片裝置有效
| 申請號: | 201820349673.1 | 申請日: | 2018-03-14 |
| 公開(公告)號: | CN208133344U | 公開(公告)日: | 2018-11-23 |
| 發明(設計)人: | 侯明永 | 申請(專利權)人: | 重慶晶宇光電科技有限公司 |
| 主分類號: | B28D5/02 | 分類號: | B28D5/02;B28D7/04;B28D7/00 |
| 代理公司: | 重慶強大凱創專利代理事務所(普通合伙) 50217 | 代理人: | 楊柳 |
| 地址: | 402160 重*** | 國省代碼: | 重慶;50 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 進給液壓缸 工作臺 輸出軸 真空吸附機構 本實用新型 出料機構 定位機構 光學晶片 切片裝置 限位板 刀片 工作臺上端面 同軸固定連接 輸出軸端部 平行設置 所用設備 運動控制 轉動連接 上端 精加工 晶圓 取放 下端 半導體 切割 電機 驅動 | ||
1.光學晶片切片裝置,其特征在于:包括工作臺和機架,所述機架位于工作臺正上方,所述機架下端面上設有進給液壓缸,所述進給液壓缸輸出軸端部轉動連接有刀片,所述液壓缸輸出軸端部還安裝有電機,所述電機輸出軸與刀片同軸固定連接,所述工作臺上端面設有定位機構,所述定位機構包括相互平行設置于工作臺上端面的限位板,所述限位板之間設有真空吸附機構,所述真空吸附機構由進給液壓缸輸出軸的運動控制,所述進給液壓缸輸出軸上還設有用于將工件推出工作臺的出料機構,所述出料機構由進給液壓缸輸出軸驅動。
2.根據權利要求1所述的光學晶片切片裝置,其特征在于:所述真空吸附機構包括設于工作臺上端面的環狀吸盤,所述工作臺內設有氣缸,所述氣缸內滑動且密封連接有活塞板,所述活塞板上端面固定連接有活塞桿,所述活塞桿另一端固定連接有連接桿,所述連接桿另一端與液壓缸輸出軸固定連接,所述氣缸上端面連接有氣管,所述氣管另一端伸入環狀吸盤內部并且開口端與環狀吸盤上端面共面。
3.根據權利要求2所述的光學晶片切片裝置,其特征在于:所述環狀吸盤上端面同軸設有環狀真空槽,所述氣管開口端與環狀真空槽底面共面。
4.根據權利要求3所述的光學晶片切片裝置,其特征在于:所述出料機構包括滑動連接于工作臺上端面的推板,所述推板遠離環狀吸盤的一端鉸接有連桿,所述連桿另一端鉸接有壓桿,所述壓桿水平設置且另一端與液壓缸輸出軸固定連接,所述連桿上端始終向靠近液壓缸輸出軸的方向傾斜,所述推板垂直于限位板且推板長度小于等于兩限位板之間的距離。
5.根據權利要求4所述的光學晶片切片裝置,其特征在于:所述限位板遠離推板一側的工作臺上端面設有向下傾斜的斜面,所述斜面遠離限位板的一側固定連接有收集槽。
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