[實用新型]一種晶圓片高效分選的自動清洗機構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820334703.1
• 申請日: 2018-03-12
• 公開（公告）號: CN208093514U
• 公開（公告）日: 2018-11-13
• 發(fā)明（設計）人: 張棲源
• 申請（專利權）人: 江西點亮科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 北京久維律師事務所 11582
• 代理人: 邢江峰

本實用新型公開了一種晶圓片高效分選的自動清洗機構，其結構包括晶圓片分選機本體、吸附機構、晶圓片放置架、支撐腿、晶圓片放置槽和噴頭，所述晶圓片分選機本體的內側頂部設有固定桿，所述固定桿的底部設有氣缸，所述氣缸的頂部設有電機，且所述電機位于固定桿的頂部，所述氣缸的底部設有吸附機構，所述晶圓片分選機本體的內側底部設有晶圓片放置架，所述晶圓片放置架的底部兩側設有支撐板，所述晶圓片放置架的頂部設有活動板，所述水盒的內側分布有噴頭，所述晶圓片分選機本體的底部分布有支撐腿。該晶圓片高效分選的自動清洗機構，高效的將活動板上的晶圓片放置槽清洗干凈，使得吸附機構產生較強的吸力，可高效的將晶圓片吸附分選。

技術領域

本實用新型涉及晶圓片分選機設備技術領域，具體為一種晶圓片高效分選的自動清洗機構。

背景技術

晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓，在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構，而成為有特定電性功能之IC產品。晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經由電弧爐提煉，鹽酸氯化，并經蒸餾后，制成了高純度的多晶硅，其純度高達99.99%。晶圓片的由來，是先將二氧化矽經過純化，融解，蒸餾之后，制成矽晶棒，晶圓廠再拿這些矽晶棒研磨，拋光和切片成為晶圓母片，由于圓形的晶圓片本身沒有方向性，不適合電子的傳輸，因此這些晶圓還必須切出一個邊，當做類似三角形的“底”，所以晶圓長得并不像家里的DVD是標準的圓，而是被切掉一個邊，成為有“底”的圓。

現有的晶圓片分選機長時間使用會產生較多的灰塵，可能造成較大的誤差，不能進行高效快速的清洗，久而久之會導致壽命減短，并且現有的晶圓片分選機很難將晶圓片吸附分選，難以滿足現有的晶圓片分選需求。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種晶圓片高效分選的自動清洗機構，解決了背景技術中所提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種晶圓片高效分選的自動清洗機構，其結構包括晶圓片分選機本體、吸附機構、晶圓片放置架、支撐腿、晶圓片放置槽和噴頭，所述晶圓片分選機本體的內側頂部設有固定桿，所述固定桿的底部設有氣缸，所述氣缸的頂部設有電機，且所述電機位于固定桿的頂部，所述氣缸的底部設有吸附機構，所述晶圓片分選機本體的內側底部設有晶圓片放置架，所述晶圓片放置架的底部兩側設有支撐板，所述晶圓片放置架的頂部設有活動板，所述活動板的頂部分布有晶圓片放置槽，所述晶圓片放置架的頂部兩側設有水盒，所述水盒的頂部中間設有注水孔，所述水盒的內側分布有噴頭，所述晶圓片分選機本體的底部分布有支撐腿。

作為本實用新型的一種優(yōu)選實施方式，所述噴頭為彎折結構，且所述噴頭通過滑軌連接于水盒的側部，使得高效的將晶圓片放置槽清洗干凈，清洗范圍廣。

作為本實用新型的一種優(yōu)選實施方式，所述支撐板的底部設有安裝板，且安裝板的兩側均設有螺紋孔，經過螺紋孔可使用螺紋緊固連接，避免不穩(wěn)定導致誤差。

作為本實用新型的一種優(yōu)選實施方式，所述支撐腿的內部填充分布有減震彈簧，所述支撐腿的底部設有墊板，減小振動，使得降低噪音，更加穩(wěn)定。

作為本實用新型的一種優(yōu)選實施方式，所述墊板的厚度為0.35cm，且所述墊板為天然橡膠材質，防滑耐磨，進一步減小振動。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果如下：

1. 該晶圓片高效分選的自動清洗機構，通過設置的水盒和噴頭，可高效的將活動板上的晶圓片放置槽清洗干凈，使用方便，功能多樣，并且可將活動板拆卸清洗，設計合理，易于實現。

2. 該晶圓片高效分選的自動清洗機構，通過設置的吸附機構，可通過氣缸帶動氣壓桿使得吸附機構產生較強的吸力，可高效的將晶圓片吸附分選，結構簡單。

附圖說明