[實用新型]一種晶圓片高效分選的自動清洗機構

有效

• 申請號: 201820334703.1
• 申請日: 2018-03-12
• 公開（公告）號: CN208093514U
• 公開（公告）日: 2018-11-13
• 發明（設計）人: 張棲源
• 申請（專利權）人: 江西點亮科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 北京久維律師事務所 11582
• 代理人: 邢江峰

1.一種晶圓片高效分選的自動清洗機構，其結構包括晶圓片分選機本體(1)、吸附機構(2)、晶圓片放置架(3)、支撐腿(4)、晶圓片放置槽(5)和噴頭(6)，其特征在于：所述晶圓片分選機本體(1)的內側頂部設有固定桿(8)，所述固定桿(8)的底部設有氣缸(7)，所述氣缸(7)的頂部設有電機(9)，且所述電機(9)位于固定桿(8)的頂部，所述氣缸(7)的底部設有吸附機構(2)，所述晶圓片分選機本體(1)的內側底部設有晶圓片放置架(3)，所述晶圓片放置架(3)的底部兩側設有支撐板(14)，所述晶圓片放置架(3)的頂部設有活動板(15)，所述活動板(15)的頂部分布有晶圓片放置槽(5)，所述晶圓片放置架(3)的頂部兩側設有水盒(11)，所述水盒(11)的頂部中間設有注水孔(12)，所述水盒(11)的內側分布有噴頭(6)，所述晶圓片分選機本體(1)的底部分布有支撐腿(4)。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓片高效分選的自動清洗機構，其特征在于：所述噴頭(6)為彎折結構，且所述噴頭(6)通過滑軌連接于水盒(11)的側部。

3.根據權利要求1所述的一種晶圓片高效分選的自動清洗機構，其特征在于：所述支撐板(14)的底部設有安裝板，且安裝板的兩側均設有螺紋孔(13)。

4.根據權利要求1所述的一種晶圓片高效分選的自動清洗機構，其特征在于：所述支撐腿(4)的內部填充分布有減震彈簧，所述支撐腿(4)的底部設有墊板(10)。

5.根據權利要求4所述的一種晶圓片高效分選的自動清洗機構，其特征在于：所述墊板(10)的厚度為0.35cm，且所述墊板(10) 為天然橡膠材質。