[實用新型]晶片研磨盤有效
| 申請號: | 201820322543.9 | 申請日: | 2018-03-09 |
| 公開(公告)號: | CN208117545U | 公開(公告)日: | 2018-11-20 |
| 發明(設計)人: | 周朱華;王祖勇 | 申請(專利權)人: | 嘉興晶控電子有限公司 |
| 主分類號: | B24B37/10 | 分類號: | B24B37/10;B24B37/30 |
| 代理公司: | 嘉興啟帆專利代理事務所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 李伊飏 |
| 地址: | 314000 浙*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 盤體 環形凹槽 研磨 晶片固定 晶片研磨 本實用新型 上下表面 永磁鐵圈 研磨機 墊圈 插銷 晶片接觸 同心設置 同一圓周 吸力作用 研磨效率 同心的 軸孔 轉軸 匹配 體內 | ||
本實用新型涉及晶片研磨盤,包括盤體,盤體正中設置有與研磨機轉軸匹配的軸孔,盤體內設置有與其同心的永磁鐵圈,盤體上下表面均設置有若干晶片固定槽,盤體同一面的若干個晶片固定槽位于同一圓周上,盤體上下表面均設置有環形凹槽,環形凹槽位于晶片固定槽外側且與盤體同心設置,環形凹槽內設置有研磨墊圈,研磨墊圈通過插銷固定在環形凹槽內;本實用新型結構簡單,使用方便,通過永磁鐵圈對研磨機的研磨塊吸力作用下,研磨塊與各位置的晶片接觸力均勻,晶片研磨質量好,研磨效率高,適合大范圍推廣應用。
技術領域
本實用新型涉及晶片生產設備領域,具體是晶片研磨盤。
背景技術
石英晶體是目前世界上用量最大的晶體材料,利用晶體本身具有的物理特性制造出的電子元器件,如石英晶體諧振器、晶體濾波器和石英晶體振蕩器等。因其在頻率端的穩定性特征作為頻率基準或是作為頻率源,在數字電路、電子產品及通訊設備領域均得到了廣泛的應用。晶片的厚度加工精度要求非常高,一般都是通過研磨來獲得的。
現有的研磨機的研磨盤存在研磨時,研磨塊與晶片接觸力不均勻,導致晶片研磨質量不穩定,研磨效率低等缺點。
實用新型內容
針對上述不足,本實用新型的目的在于,提供研磨塊與各位置的晶片接觸力均勻,晶片研磨質量好,研磨效率高,適合大范圍推廣應用的晶片研磨盤。
為實現上述目的,本實用新型提供以下技術方案:晶片研磨盤,包括盤體,盤體正中設置有與研磨機轉軸匹配的軸孔,盤體內設置有與其同心的永磁鐵圈,盤體上下表面均設置有若干晶片固定槽,盤體同一面的若干個晶片固定槽位于同一圓周上,盤體上下表面均設置有環形凹槽,環形凹槽位于晶片固定槽外側且與盤體同心設置,環形凹槽內設置有研磨墊圈,研磨墊圈通過插銷固定在環形凹槽內。
進一步優化的方案,所述的盤體和研磨墊圈為耐磨陶瓷材料。
本實用新型與現有技術相比具有的有益效果是:本實用新型結構簡單,使用方便,通過永磁鐵圈對研磨機的研磨塊吸力作用下,研磨塊與各位置的晶片接觸力均勻,晶片研磨質量好,研磨效率高,適合大范圍推廣應用。
附圖說明
圖1為本實用新型的結構示意圖;
圖2為本實用新型的俯視圖。
圖中標號為:1-盤體、2-軸孔、3-永磁鐵圈、4-晶片固定槽、5-環形凹槽、6-研磨墊圈、7-插銷、8-晶片。
具體實施方式
為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白,以下結合附圖及實施例,對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解,此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型,并不用于限定本實用新型。
在本實用新型的描述中,需要理解的是,術語“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內”、“外”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系,僅是為了便于描述本實用新型,而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作,因此不能理解為對本實用新型的限制。
參照附圖1-2可知,晶片研磨盤,包括盤體1,盤體1正中設置有與研磨機轉軸匹配的軸孔2,盤體1內設置有與其同心的永磁鐵圈3,盤體1上下表面均設置有若干晶片固定槽4,盤體1同一面的若干個晶片固定槽4位于同一圓周上,盤體1上下表面均設置有環形凹槽5,環形凹槽5位于晶片固定槽4外側且與盤體1同心設置,環形凹槽5內設置有研磨墊圈6,研磨墊圈6通過插銷7固定在環形凹槽5內。
進一步的,所述的盤體1和研磨墊圈6為耐磨陶瓷材料。
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