[實用新型]一種旋轉硅鋁靶材

有效

• 申請號: 201820309922.4
• 申請日: 2018-03-06
• 公開（公告）號: CN208121191U
• 公開（公告）日: 2018-11-20
• 發明（設計）人: 常代展;王雷
• 申請（專利權）人: 南通安泰新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種旋轉硅鋁靶材，涉及濺鍍技術領域，其技術方案要點是：包括背襯管以及套設在背襯管外的靶材體，所述靶材體與背襯管之間設有導電導熱膠，還包括沿背襯管的軸向滑移設置在背襯管端部的支撐桿，所述支撐桿遠離背襯管的一端設有與背襯管外周弧度相同的托板；所述背襯管的兩端設有供支撐桿滑移的開口槽以及將開口槽的開口封閉的擋板，所述背襯管每端的支撐桿至少為兩個且互相垂直設置。當運輸時，將擋板拆卸下來，支撐桿從背襯管內取出，朝向背襯管外部再次安裝到開口槽內，通過擋板固定。托板可以對相鄰靶材的背襯管進行支撐以及限位，在運輸時可以有效的避免靶材在運輸箱內出現滾動，避免靶材在運輸時出現碰撞損壞現象。

技術領域

本實用新型涉及濺鍍技術領域，更具體地說，它涉及一種旋轉硅鋁靶材。

背景技術

磁控濺鍍法是通過在濺鍍系統中假裝磁控裝置，通過磁場與電鏟之間的電磁效應改變電漿內電子的移動，達到提高游離率與濺鍍效率的目的?，F有技術中，為了提高靶材的使用率，普遍使用旋轉靶材，可以在磁控濺鍍工藝中可得到均勻的剝蝕表面，其不僅能將靶材使用率提升至70%-80%，更有助于延長靶材的使用壽命，降低制造成本，提高工藝產量。

公布號為CN107663630A的發明專利提供了一種旋轉靶材，主要其包含靶材體、背襯管及接合件，接合件設置于靶材體與背襯管之間，且接合件包含可壓縮結構與導電導熱膠，利用接合件接合靶材體和背襯管，有利于簡化旋轉靶材的工藝，提升旋轉靶材的濺鍍效率。

但是在實際使用時，由于背襯管以及靶材體均是圓柱形的，在運輸時，當將靶材碼放到運輸箱內的時候，靶材容易出現滾動現象，相鄰兩個靶材之間的固定效果不佳，在運輸過程中靶材相互之間容易出現碰撞導致靶材的損壞。

實用新型內容

針對現有技術的不足，本實用新型的目的是提供一種旋轉硅鋁靶材，可以使靶材更加穩定的碼放在運輸箱內進而避免靶材在運輸過程中出現損壞。

本實用新型的上述技術目的是通過以下技術方案得以實現的：一種旋轉硅鋁靶材，包括背襯管以及套設在背襯管外的靶材體，所述靶材體與背襯管之間設有導電導熱膠，還包括沿背襯管的軸向滑移設置在背襯管端部的支撐桿，所述支撐桿遠離背襯管的一端設有與背襯管外周弧度相同的托板；所述背襯管的兩端設有供支撐桿滑移的開口槽以及將開口槽的開口封閉的擋板，所述背襯管每端的支撐桿至少為兩個且互相垂直設置。

通過采用上述技術方案：當運輸時，將擋板拆卸下來，支撐桿從背襯管內取出，朝向背襯管外部再次安裝到開口槽內，通過擋板固定。支撐桿可以有兩種狀態，一種是位于背襯管外的狀態，此時可以用于運輸中，對相鄰的背襯管進行支撐定位。一種是位于背襯管內，此時背襯管處于使用中，背襯管的兩端仍然可以保持圓周狀態，不會影響背襯管的正常使用。托板可以對相鄰靶材的背襯管進行支撐以及限位，在運輸時可以有效的避免靶材在運輸箱內出現滾動，避免靶材在運輸時出現碰撞損壞現象。

作為優選，所述支撐桿包括與開口槽滑移連接的滑塊以及與滑塊螺紋連接的滑桿，所述滑桿沿背襯管的徑向設置，所述托板設置在滑桿遠離滑塊的一端。

通過采用上述技術方案：將支撐桿做成可以伸縮的，這樣可以調節托板與背襯管的距離，可以適應不同直徑的靶材的支撐，并且可以根據運輸箱的大小合理確定兩個靶材之間的距離，提高了適應性。

作為優選，所述開口槽的側壁上沿開口槽的長度方向設有導向槽，所述滑塊與開口槽接觸的側面上設有與導向槽配合的導向塊。

通過采用上述技術方案：設置導向槽與導向塊，即可實現滑塊與開口槽的滑移連接，并且支撐桿伸出以及收回時均可以實現支撐桿與導向槽的滑移，結構簡單，操作方便。

作為優選，所述托板與滑桿的端部轉動連接。

通過采用上述技術方案：這樣即使托板已經與相鄰的靶材上的背襯管抵接，也能夠實現托板伸出量的調節，適應性強。