[實用新型]一種旋轉硅鋁靶材

有效

• 申請號: 201820309922.4
• 申請日: 2018-03-06
• 公開（公告）號: CN208121191U
• 公開（公告）日: 2018-11-20
• 發明（設計）人: 常代展;王雷
• 申請（專利權）人: 南通安泰新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種旋轉硅鋁靶材，包括背襯管(1)以及套設在背襯管(1)外的靶材體(2)，所述靶材體(2)與背襯管(1)之間設有導電導熱膠，其特征在于：還包括沿背襯管(1)的軸向滑移設置在背襯管(1)端部的支撐桿(5)，所述支撐桿(5)遠離背襯管(1)的一端設有與背襯管(1)外周弧度相同的托板(7)；所述背襯管(1)的兩端設有供支撐桿(5)滑移的開口槽(3)以及將開口槽(3)的開口封閉的擋板(4)，所述背襯管(1)每端的支撐桿(5)至少為兩個且互相垂直設置。

2.根據權利要求1所述的旋轉硅鋁靶材，其特征在于：所述支撐桿(5)包括與開口槽(3)滑移連接的滑塊(51)以及與滑塊(51)螺紋連接的滑桿(52)，所述滑桿(52)沿背襯管(1)的徑向設置，所述托板(7)設置在滑桿(52)遠離滑塊(51)的一端。

3.根據權利要求2所述的旋轉硅鋁靶材，其特征在于：所述開口槽(3)的側壁上沿開口槽(3)的長度方向設有導向槽(31)，所述滑塊(51)與開口槽(3)接觸的側面上設有與導向槽(31)配合的導向塊(10)。

4.根據權利要求2或3所述的旋轉硅鋁靶材，其特征在于：所述托板(7)與滑桿(52)的端部轉動連接。

5.根據權利要求4所述的旋轉硅鋁靶材，其特征在于：所述滑桿(52)上設有外螺紋，所述滑塊(51)上設有與外螺紋配合的螺紋孔(6)，所述螺紋孔(6)內設有與滑桿(52)的端面抵接的彈簧(8)。

6.根據權利要求2所述的旋轉硅鋁靶材，其特征在于：所述滑桿(52)的外周面上設有用于操作滑桿(52)轉動的凸塊(9)。

7.根據權利要求1所述的旋轉硅鋁靶材，其特征在于：所述擋板(4)與背襯管(1)接觸的面上設有由橡膠制成的防滑層(71)。

8.根據權利要求1所述的旋轉硅鋁靶材，其特征在于：所述背襯管(1)的端面上設有用于安裝擋板(4)的沉槽(11)。