[實用新型]一種易于安裝的旋轉硅鋁靶材

有效

• 申請號: 201820309768.0
• 申請日: 2018-03-06
• 公開（公告）號: CN208121189U
• 公開（公告）日: 2018-11-20
• 發明（設計）人: 常代展;王雷
• 申請（專利權）人: 南通安泰新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型提供了一種易于安裝的旋轉硅鋁靶材，涉及靶材技術領域，其包括背襯管、接合件和靶材體，所述背襯管上位于所述靶材體長度方向其中一端設有若干嵌設在所述靶材體內壁上的定位凸起，且所述定位凸起沿所述背襯管截面的半徑方向滑移設置，所述背襯管上遠離其設置所述定位凸起一端設有與所述靶材體側壁相互抵接的環形抵接板，所述環形抵接板上設有保持所述靶材體與所述背襯管圓心一致的定位裝置，所述環形抵接板可拆卸連接設置在所述背襯管上，通過嵌設在靶材體內壁上的定位凸起及環形抵接板對靶材體水平方向的位置進行固定，防止在進行安裝過程中，由于接合件粘著力不足導致靶材體受到外力作用而引起掉落。

技術領域

本實用新型涉及靶材技術領域，特別涉及一種易于安裝的旋轉硅鋁靶材。

背景技術

磁控濺鍍法是通過在濺鍍系統中加裝磁控裝置，通過磁場與電場之間的電磁效應改變電漿內電子的移動，達到提高游離率與濺鍍效率的目的；現有技術中為了提高靶材的使用效率，通常選用旋轉靶材來進行磁控濺鍍工藝。在組裝過程中，現有技術多半是利用低熔點金屬作為焊料，將此焊料填入旋轉靶材的靶材體與背襯管之間的間隙，以達到接合的目的。

因此，公開號為“CN107663630A”的中國專利公開了一種旋轉靶材，其包含靶材體、背襯管及接合件，所述接合件設置于所述靶材體與所述背襯管之間，且所述接合件包含可壓縮結構與導電導熱膠，所述可壓縮結構為可壓縮毯或可壓縮片。

上述技術方案中所披露的一種旋轉靶材，其利用接合件接合靶材體和背襯管不僅簡化了旋轉靶材的工藝，還能在維持靶材體和背襯管的接合強度的同時，提升旋轉靶材的濺鍍功率耐受度，進而提升其濺鍍效率，但是由于靶材體與背襯管之間通過接合件固定，而在進行安裝過程中，接合件為流狀物質，從而在進行安裝過程中不能準確地對靶材體進行定位，從而導致在進行接合件冷凝過程中，靶材體容易從背襯管上掉落下來，導致不能穩定安裝的情況發生。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種易于安裝的旋轉硅鋁靶材，其具有在進行安裝過程中在背襯管上對靶材體進行定位的特點。

一種易于安裝的旋轉硅鋁靶材，包括背襯管、接合件和靶材體，所述背襯管上位于所述靶材體長度方向其中一端設有若干嵌設在所述靶材體內壁上的定位凸起，且所述定位凸起沿所述背襯管截面的半徑方向滑移設置，所述背襯管上遠離其設置所述定位凸起一端設有與所述靶材體側壁相互抵接的環形抵接板，所述環形抵接板上設有保持所述靶材體與所述背襯管圓心一致的定位裝置，所述環形抵接板可拆卸連接設置在所述背襯管上。

通過采用上述技術方案，通過嵌設在靶材體內壁上的定位凸起及環形抵接板對靶材體水平方向的位置進行固定，防止在進行安裝過程中，由于接合件粘著力不足導致靶材體受到外力作用而引起掉落，且通過定位裝置保持定位凸起的抵接，避免了靶材體在豎直方向上的晃動。

優選的，所述背襯管上設有供所述定位凸起滑移的定位槽，所述定位槽內設有抵接在所述定位凸起底部的抵接彈簧。

通過采用上述技術方案，通過抵接彈簧的固定，在加工完成后，定位凸起始終嵌設在靶材體的側壁上，進一步防止了在進行使用過程中，由于外力作用導致靶材體的脫落。

優選的，所述定位凸起背離所述環形抵接板一側設有傾斜面，所述傾斜面傾斜向上設置。

通過采用上述技術方案，在進行安裝過程中，首先通過靶材體的側壁與定位凸起上的傾斜面相互抵接，繼續滑移使得定位凸起在傾斜面與靶材體上推力的共同作用下先定位槽內滑移，從而使得安裝時定位凸起不會對靶材體的滑移造成影響。

優選的，所述定位裝置包括設置在所述環形抵接板上且嵌設在所述靶材體內呈環形的定位凸緣。

通過采用上述技術方案，由于靶材體與背襯管之間通過接合件固定，加熱之前，接合件呈流狀，靶材體容易在背襯管上晃動，通過設置定位凸緣，固定過程中，通過定位凸緣對靶材體進行位置的固定，從而保證了靶材體與背襯管始終同心設置。