[實用新型]一種易于安裝的旋轉硅鋁靶材有效
| 申請號： | 201820309768.0 | 申請日： | 2018-03-06 |
| 公開（公告）號： | CN208121189U | 公開（公告）日： | 2018-11-20 |
| 發明（設計）人： | 常代展;王雷 | 申請（專利權）人： | 南通安泰新材料科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 226341 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 靶材 背襯管 定位凸起 抵接板 接合件 硅鋁 體內 本實用新型 可拆卸連接 圓心 安裝過程 定位裝置 外力作用 掉落 材體 抵接 對靶 滑移 體側 | ||
1.一種易于安裝的旋轉硅鋁靶材，包括背襯管（1）、接合件（2）和靶材體（3），其特征在于：所述背襯管（1）上位于所述靶材體（3）長度方向其中一端設有若干嵌設在所述靶材體（3）內壁上的定位凸起（11），且所述定位凸起（11）沿所述背襯管（1）截面的半徑方向滑移設置，所述背襯管（1）上遠離其設置所述定位凸起（11）一端設有與所述靶材體（3）側壁相互抵接的環形抵接板（4），所述環形抵接板（4）上設有保持所述靶材體（3）與所述背襯管（1）圓心一致的定位裝置，所述環形抵接板（4）可拆卸連接設置在所述背襯管（1）上。
2.根據權利要求1所述的一種易于安裝的旋轉硅鋁靶材，其特征在于：所述背襯管（1）上設有供所述定位凸起（11）滑移的定位槽（12），所述定位槽（12）內設有抵接在所述定位凸起（11）底部的抵接彈簧（121）。
3.根據權利要求2所述的一種易于安裝的旋轉硅鋁靶材，其特征在于：所述定位凸起（11）背離所述環形抵接板（4）一側設有傾斜面（111），所述傾斜面（111）傾斜向上設置。
4.根據權利要求1所述的一種易于安裝的旋轉硅鋁靶材，其特征在于：所述定位裝置包括設置在所述環形抵接板（4）上且嵌設在所述靶材體（3）內呈環形的定位凸緣（41）。
5.根據權利要求1-4任一所述的一種易于安裝的旋轉硅鋁靶材，其特征在于：所述背襯管（1）外側側壁上沿其長度方向陣列設有若干環形凹槽（13），所述接合件（2）上設有嵌設在所述環形凹槽（13）內的第一凸緣（21）。
6.根據權利要求5所述的一種易于安裝的旋轉硅鋁靶材，其特征在于：所述靶材體（3）上設有若干第二凹槽（31），所述接合件（2）上設有與所述第二凹槽（31）相互匹配的第二凸緣（22）。
7.根據權利要求6所述的一種易于安裝的旋轉硅鋁靶材，其特征在于：所述第二凹槽（31）與所述環形凹槽（13）截面均為梯形，且所述第二凹槽（31）與所述環形凹槽（13）梯形較窄一側指向相對。
8.根據權利要求6或7所述的一種易于安裝的旋轉硅鋁靶材，其特征在于：所述靶材體（3）外側設有完全覆蓋所述靶材體（3）的保護層（32），所述保護層（32）可拆卸的包覆在所述靶材體（3）外側。
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