[實用新型]一種提高利用率的旋轉(zhuǎn)硅鋁靶組件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820309767.6
• 申請日: 2018-03-06
• 公開（公告）號: CN208121188U
• 公開（公告）日: 2018-11-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 常代展;王雷
• 申請（專利權(quán)）人: 南通安泰新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種提高利用率的旋轉(zhuǎn)硅鋁靶組件，涉及磁控濺射、金屬變形加工和裝配技術(shù)領(lǐng)域，旨在解決安裝過程中旋轉(zhuǎn)靶材端部易出現(xiàn)變形而安裝不上的問題，其技術(shù)要點在于：包括管體、端頭和靶材，所述靶材沿所述管體軸向方向包裹在管體外周，所述管體兩端部分別伸出所述靶材的兩端，所述端頭內(nèi)徑固定套設(shè)于所述管體端部，所述管體端部套設(shè)具有彈性的環(huán)形襯套，所述環(huán)形襯套與所述管體一體設(shè)置，并且所述環(huán)形襯套和所述端頭之間通過螺紋連接，所述環(huán)形襯套的外徑大于所述端頭的內(nèi)徑，本實用新型使得靶組件結(jié)合部的連接強(qiáng)度增大，進(jìn)而保證了生產(chǎn)的穩(wěn)定性和連續(xù)性，并提高了靶材的利用率，滿足節(jié)能環(huán)保的生產(chǎn)要求。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及磁控濺射技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種提高利用率的旋轉(zhuǎn)硅鋁靶組件。

背景技術(shù)

磁控濺射鍍膜是目前鍍膜行業(yè)應(yīng)用廣泛的鍍膜沉積工藝，濺射鍍膜的原理是在真空條件下，通過電子槍用氬離子對靶材表面進(jìn)行轟擊，靶材表面材料以分子、原子、離子或電子等形式被濺射出來，飛濺到基板上沉積成膜。而隨著表面鍍膜技術(shù)的不斷發(fā)展，濺射靶材這一具有高附加值的功能材料的需求量也逐年增多，因此需要不斷提高濺射靶材的利用效率，減少靶材的消耗，降低成本，保護(hù)環(huán)境。

現(xiàn)有公告號為CN204281849U的中國專利公開了一種旋轉(zhuǎn)靶材，該旋轉(zhuǎn)靶材包括管狀結(jié)構(gòu)的管體和環(huán)狀結(jié)構(gòu)的端頭，所述端頭的內(nèi)徑固定地套設(shè)于所述管體的端部，所述管體的端部外表面光滑，所述端 頭的內(nèi)表面光滑，所述管體的端部和所述端頭之間為過盈配合。該實用新型通過連接的方式增加靶材端頭的厚度，使端頭和管體能夠同時被濺射完，提高靶材的利用率。

但是由于上述旋轉(zhuǎn)靶材的管體為鎳鉻材質(zhì)，其自身強(qiáng)度不高，且旋轉(zhuǎn)靶材端部管壁較薄，采用過盈配合的連接方式，易出現(xiàn)旋轉(zhuǎn)靶材在安裝過程中出現(xiàn)變形而安裝不上的情況，從而需要更換新的旋轉(zhuǎn)靶材，造成極大浪費(fèi)。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是提供一種提高利用率的旋轉(zhuǎn)硅鋁靶組件，以保證生產(chǎn)的穩(wěn)定性和連續(xù)性，并提高靶材的利用率，滿足節(jié)能環(huán)保的生產(chǎn)要求。

本實用新型的上述技術(shù)目的是通過以下技術(shù)方案得以實現(xiàn)的：

一種提高利用率的旋轉(zhuǎn)硅鋁靶組件，包括管體、端頭和靶材，所述靶材沿所述管體軸向方向包裹在管體外周，所述管體兩端部分別伸出所述靶材的兩端，所述端頭內(nèi)徑固定套設(shè)于所述管體端部，所述管體端部套設(shè)具有彈性的環(huán)形襯套，所述環(huán)形襯套與所述管體一體設(shè)置，并且所述環(huán)形襯套和所述端頭之間通過螺紋連接，所述環(huán)形襯套的外徑大于所述端頭的內(nèi)徑。

通過采用上述技術(shù)方案，在管體端部套設(shè)具有彈性的環(huán)形襯套，使之與管體一體設(shè)置，并確保環(huán)形襯套的外徑要大于端頭的內(nèi)徑，隨后將環(huán)形襯套與端頭螺紋連接以固定住管體，從而避免靶材從連接端脫離，同時利用環(huán)形襯套的彈性效果增大螺紋處的連接強(qiáng)度，以此避免靶組件的結(jié)合部開裂的現(xiàn)象，從而保證整個生產(chǎn)的穩(wěn)定性和連續(xù)性，提高靶材的利用率，滿足節(jié)能環(huán)保的生產(chǎn)要求。

進(jìn)一步地，所述端頭內(nèi)徑不大于所述靶材使用完的最小外徑，所述環(huán)形襯套在管體徑向上的厚度不大于所述靶材的壁厚。

通過采用上述技術(shù)方案，使端頭內(nèi)徑不大于靶材使用完的最小外徑，并使環(huán)形襯套在管體徑向上的厚度不大于靶材的壁厚，從而在加強(qiáng)靶組件結(jié)合部強(qiáng)度的基礎(chǔ)上，不會影響靶材安裝后的重復(fù)正常使用，而且環(huán)形襯套適當(dāng)?shù)暮穸瓤善鸬揭欢ǖ拿芊庑Ч?/p>

進(jìn)一步地，所述環(huán)形襯套由硫化橡膠制成，并且所述環(huán)形襯套表面設(shè)有耐摩擦復(fù)合。

通過采用上述技術(shù)方案，選用硫化橡膠制成環(huán)形襯套，其制作工藝要求無飛邊，無氣泡、裂紋、分層、剝離等缺陷，具備強(qiáng)度大，彈性效果好，不易磨損等優(yōu)點，并在環(huán)形襯套表面涂覆有一層耐摩擦復(fù)合鍍膜，不僅能避免工作過程中產(chǎn)生的摩擦力損壞環(huán)形襯套，還防滑防移位，使得螺紋連接更加牢靠，以確保生產(chǎn)的安全持續(xù)性。

進(jìn)一步地，所述環(huán)形襯套內(nèi)設(shè)有若干個空腔，所述空腔內(nèi)沿環(huán)形襯套徑向放置有緩沖彈簧。