[實用新型]一種提高利用率的旋轉硅鋁靶組件

有效

• 申請號: 201820309767.6
• 申請日: 2018-03-06
• 公開（公告）號: CN208121188U
• 公開（公告）日: 2018-11-20
• 發明（設計）人: 常代展;王雷
• 申請（專利權）人: 南通安泰新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種提高利用率的旋轉硅鋁靶組件，包括管體（1）、端頭（11）和靶材（12），所述靶材（12）沿所述管體（1）軸向方向包裹在管體（1）外周，所述管體（1）兩端部分別伸出所述靶材（12）的兩端，所述端頭（11）內徑固定套設于所述管體（1）端部，其特征在于：所述管體（1）端部套設具有彈性的環形襯套（2），所述環形襯套（2）與所述管體（1）一體設置，并且所述環形襯套（2）和所述端頭（11）之間通過螺紋連接，所述環形襯套（2）的外徑大于所述端頭（11）的內徑。

2.根據權利要求1所述的一種提高利用率的旋轉硅鋁靶組件，其特征在于：所述端頭（11）內徑不大于所述靶材（12）使用完的最小外徑，所述環形襯套（2）在管體（1）徑向上的厚度不大于所述靶材（12）的壁厚。

3.根據權利要求1所述的一種提高利用率的旋轉硅鋁靶組件，其特征在于：所述環形襯套（2）由硫化橡膠制成，并且所述環形襯套（2）表面設有耐摩擦復合鍍膜。

4.根據權利要求3所述的一種提高利用率的旋轉硅鋁靶組件，其特征在于：所述環形襯套（2）內設有若干個空腔（21），所述空腔（21）內沿環形襯套（2）徑向放置有緩沖彈簧（22）。

5.根據權利要求1所述的一種提高利用率的旋轉硅鋁靶組件，其特征在于：所述管體（1）和靶材（12）之間設有結合層（3），所述結合層（3）的內、外表面粗糙設置。

6.根據權利要求5所述的一種提高利用率的旋轉硅鋁靶組件，其特征在于：所述結合層（3）包括耐腐層（31）和耐熱層（32），所述耐腐層（31）設于管體（1）表面，所述耐熱層（32）設于耐腐層（31）表面。

7.根據權利要求6所述的一種提高利用率的旋轉硅鋁靶組件，其特征在于：所述耐腐層（31）為環氧樹脂復合材料層，所述耐熱層（32）為環保水性阻燃涂料層。

8.根據權利要求1-7中任一權利要求所述的一種提高利用率的旋轉硅鋁靶組件，其特征在于：所述靶材（12）為鋁硅合金材質，且所述靶材（12）兩端厚度大于中間厚度。