[實(shí)用新型]一種真空槽

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820301502.1
• 申請(qǐng)日: 2018-03-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207938579U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-10-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張運(yùn);孫者利
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 濟(jì)南卓微電子有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種真空槽,包括真空槽體，其特征在于：在所述真空槽體兩側(cè)設(shè)置真空的緩沖室，在所述緩沖室的兩端設(shè)置法蘭連接真空泵，所述緩沖室是底部密封上端敞口的容器，所述緩沖室的上端口與所述真空槽體的上端口平行。本實(shí)用新型的有益效果是：由于在真空槽的兩側(cè)設(shè)置有緩沖室，氣流不直接施加在真空槽體，增加緩沖作用，并且在真空槽體和緩沖室內(nèi)壁增加了耐磨層，確保了真空槽體不受損壞，大大的降低了更換槽體的周期，節(jié)約投入，提高利用率，增加產(chǎn)能，提高質(zhì)量，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、設(shè)計(jì)合理。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體芯片加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種真空槽。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體芯片廣泛用于各種電器，吹砂工藝是生產(chǎn)芯片的主要工序之一，吹砂機(jī)皮帶附著在真空槽上面，真空槽里面通過(guò)風(fēng)機(jī)實(shí)現(xiàn)負(fù)壓，致使硅片吸附在皮帶上面進(jìn)行吹砂。由于槽子里面是負(fù)壓，皮帶與槽體之間有相對(duì)運(yùn)動(dòng)，不能完全密封，有氣體進(jìn)入，導(dǎo)致真空槽體受損，影響了產(chǎn)品的正常生產(chǎn)，成為困擾企業(yè)的一大難題，這是現(xiàn)有技術(shù)的不足。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種真空槽，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種真空槽,包括真空槽體，其特征在于：在所述真空槽體兩側(cè)設(shè)置真空的緩沖室，在所述緩沖室的兩端設(shè)置法蘭連接真空泵，所述緩沖室是底部密封上端敞口的容器，所述緩沖室的上端口與所述真空槽體的上端口平行。

上述真空槽體和所述緩沖室的內(nèi)壁貼覆耐磨材料。

上述耐磨材料為非金屬耐磨材料，所述非金屬耐磨材料為橡膠、尼龍。

上述緩沖室的高度h是所述真空槽體高度H的五分之一。

上述緩沖室寬度l是所述真空槽體寬度L的八分之一。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：由于在真空槽的兩側(cè)設(shè)置有緩沖室，氣流不直接施加在真空槽體，增加緩沖作用，并且在真空槽體和緩沖室內(nèi)壁增加了耐磨層，確保了真空槽體不受損壞，大大的降低了更換槽體的周期，節(jié)約投入，提高利用率，增加產(chǎn)能，提高質(zhì)量，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、設(shè)計(jì)合理。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為圖1的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1-真空槽體，2-緩沖室，3-法蘭。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，一種真空槽,包括真空槽體，在真空槽體1兩側(cè)設(shè)置真空的緩沖室2，在緩沖室2的兩端設(shè)置法蘭3連接真空泵，緩沖室2是底部密封上端敞口的容器，緩沖室2的上端口與真空槽體1的上端口平行。在真空槽體1和緩沖室2的內(nèi)壁貼覆耐磨材料。耐磨材料為非金屬耐磨材料，非金屬耐磨材料為橡膠、尼龍。緩沖室2的高度h是真空槽1體高度H的五分之一。緩沖室2寬度l是真空槽體1寬度L的八分之一。

基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

盡管已經(jīng)示出和描述了本實(shí)用新型的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以理解在不脫離本實(shí)用新型的原理和精神的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。