[實用新型]一種二維材料電極制作裝置有效

申請號：	201820294046.2	申請日：	2018-03-02
公開（公告）號：	CN207896064U	公開（公告）日：	2018-09-21
發明（設計）人：	潘堯	申請（專利權）人：	蘇州銳材半導體有限公司
主分類號：	H01L21/28	分類號：	H01L21/28
代理公司：	蘇州國卓知識產權代理有限公司 32331	代理人：	陸曉鷹
地址：	215000 江蘇省蘇州***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	二維材料伺服控制刻刀刻蝕等離子體刻蝕本實用新型傳送帶電極制作液壓伸縮結構液壓伸縮裝置離子體刻蝕電極圖案自動傳送電極上端卡鉗加工污染
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【權利要求書】：

1.一種二維材料電極制作裝置，包括一基座、一基于伺服控制的傳送帶，所述傳送帶上每間隔一段距離設有一電動卡鉗，所述傳送帶位于基座上，其特征在于，還包括基于伺服控制的三個加工裝置，分別為：基于伺服控制的光刻刀；基于伺服控制的刻蝕刀，以及基于伺服控制的等離子體刻蝕刀，所述光刻刀、刻蝕刀以及等離子體刻蝕刀的上端分別設有基于伺服控制的第一液壓伸縮裝置、第二液壓伸縮裝置和第三液壓伸縮裝置，所述光刻刀、刻蝕刀以及等離子體刻蝕刀之間的距離和任意兩個電動卡鉗之間的距離相等；所述三個液壓伸縮裝置上端均連接于一L型架體底部，且該L型架體左端和基座上端連接。

2.如權利要求1所述的一種二維材料電極制作裝置，其特征在于，所述基座上端右側還設有一基于伺服控制的機械手，該機械手范圍為可抓取其附近一電動卡鉗上的物體。

3.如權利要求1所述的一種二維材料電極制作裝置，其特征在于，所述每個電動卡鉗之間的距離為10-20公分。

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