[實(shí)用新型]一種可改變自轉(zhuǎn)周期的蒸鍍行星鍋

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820292363.0
• 申請日: 2018-03-02
• 公開（公告）號: CN207918944U
• 公開（公告）日: 2018-09-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王玉泉
• 申請（專利權(quán)）人: 丹東英普朗特科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 沈陽優(yōu)普達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 21234
• 代理人: 俞魯江

本實(shí)用新型公開一種可改變自轉(zhuǎn)周期的蒸鍍行星鍋，包括電機(jī)、支架、支撐臂、行星鍋及坩堝；電機(jī)帶動支架旋轉(zhuǎn)，支撐臂的一端與支架固定，支撐臂的另外一端與行星鍋的轉(zhuǎn)軸軸接；行星鍋外緣設(shè)置齒，軌道上設(shè)置與所述齒嚙合的齒型凹槽，行星鍋在軌道上自轉(zhuǎn)；電子束轟擊坩堝內(nèi)的源，源內(nèi)物質(zhì)均勻蒸發(fā)到即公轉(zhuǎn)又自轉(zhuǎn)的行星鍋內(nèi)，從而均勻蒸發(fā)到固定在行星鍋內(nèi)側(cè)的硅晶圓上；行星鍋上設(shè)置多個(gè)通孔，所述通孔內(nèi)設(shè)置承片圈，硅晶圓設(shè)置在所述承片圈內(nèi)；所述硅晶圓外側(cè)設(shè)置鍋蓋。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是：由于行星鍋的齒圈可換，因此，可更改齒的結(jié)構(gòu)及大小，將齒圈與軌道上的齒型凹槽進(jìn)行更改從而可更改行星鍋的自轉(zhuǎn)速度。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及電子技術(shù)領(lǐng)域，具體說是一種蒸鍍裝置。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的蒸鍍設(shè)備結(jié)構(gòu)形式很多，典型的是硅晶圓緊貼行星鍋體，該結(jié)構(gòu)在蒸發(fā)過程中造成硅晶圓與行星鍋粘連，造成硅晶圓在取出時(shí)碎裂；現(xiàn)有的行星鍋的自轉(zhuǎn)一般采用結(jié)構(gòu)復(fù)雜的驅(qū)動系統(tǒng)，不僅成本較高，而且穩(wěn)定性不好。

實(shí)用新型內(nèi)容

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的目的是提供一種行星鍋，可有效解決上述技術(shù)問題，具體技術(shù)方案如下：

一種蒸鍍行星鍋，包括電機(jī)、支架、支撐臂、行星鍋及坩堝；電機(jī)帶動支架旋轉(zhuǎn)，支撐臂的一端與支架固定，支撐臂的另外一端與行星鍋的轉(zhuǎn)軸軸接；行星鍋外緣設(shè)置齒，軌道上設(shè)置與所述齒嚙合的齒型凹槽，行星鍋在軌道上自轉(zhuǎn)；電子束轟擊坩堝內(nèi)的源，源內(nèi)物質(zhì)均勻蒸發(fā)到即公轉(zhuǎn)又自轉(zhuǎn)的行星鍋內(nèi)，從而均勻蒸發(fā)到固定在行星鍋內(nèi)側(cè)的硅晶圓上；行星鍋上設(shè)置多個(gè)通孔，所述通孔內(nèi)設(shè)置承片圈，硅晶圓設(shè)置在所述承片圈內(nèi)；所述硅晶圓外側(cè)設(shè)置鍋蓋。

所述行星鍋邊緣的齒設(shè)置在圓形齒圈上，所述齒圈與行星鍋有螺母固定。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是：

由于行星鍋的齒圈可換，因此，可更改齒的結(jié)構(gòu)及大小，將齒圈與軌道上的齒型凹槽進(jìn)行更改從而可更改行星鍋的自轉(zhuǎn)速度。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖具體說明本實(shí)用新型，如圖所示，本實(shí)用新型包括電機(jī)1、支架2、支撐臂3、行星鍋4及坩堝6；電機(jī)1帶動支架2旋轉(zhuǎn)，支撐臂3的一端與支架2固定，支撐臂3的另外一端與行星鍋4的轉(zhuǎn)軸軸接；行星鍋4邊緣設(shè)置齒圈5，齒圈5的齒與軌道8上齒型凹槽嚙合，使得行星鍋4自轉(zhuǎn)；電子束轟擊坩堝6內(nèi)的源7，源內(nèi)物質(zhì)均勻蒸發(fā)到即公轉(zhuǎn)又自轉(zhuǎn)的行星鍋4內(nèi)，從而均勻蒸發(fā)到固定在行星鍋內(nèi)側(cè)的硅晶圓上；行星鍋上設(shè)置多個(gè)通孔，硅晶圓外側(cè)設(shè)置鍋蓋。