[實用新型]一種可改變自轉周期的蒸鍍行星鍋有效
| 申請號： | 201820292363.0 | 申請日： | 2018-03-02 |
| 公開（公告）號： | CN207918944U | 公開（公告）日： | 2018-09-28 |
| 發明（設計）人： | 王玉泉 | 申請（專利權）人： | 丹東英普朗特科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 沈陽優普達知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 俞魯江 |
| 地址： | 118009 遼寧省丹*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 行星 硅晶圓 支撐臂 自轉 本實用新型 齒型凹槽 自轉周期 可改變 承片 齒圈 通孔 蒸鍍 支架 坩堝 軌道 蒸發 電子束轟擊 電機帶動 外側設置 支架固定 齒嚙合 轉軸軸 鍋蓋 電機 | ||
【權利要求書】：
1.一種可改變自轉周期的蒸鍍行星鍋，其特征在于：包括電機、支架、支撐臂、行星鍋及坩堝；電機帶動支架旋轉，支撐臂的一端與支架固定，支撐臂的另外一端與行星鍋的轉軸軸接；行星鍋外緣設置齒，軌道上設置與所述齒嚙合的齒型凹槽，行星鍋在軌道上自轉；電子束轟擊坩堝內的源，源內物質均勻蒸發到即公轉又自轉的行星鍋內，從而均勻蒸發到固定在行星鍋內側的硅晶圓上；行星鍋上設置多個通孔，所述通孔內設置承片圈，硅晶圓設置在所述承片圈內；所述硅晶圓外側設置鍋蓋。
2.根據權利要求1所述的可改變自轉周期的蒸鍍行星鍋，其特征在于：所述行星鍋邊緣的齒設置在圓形齒圈上，所述齒圈與行星鍋有螺母固定。
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